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公开(公告)号:CN103094299B
公开(公告)日:2015-06-17
申请号:CN201310023561.9
申请日:2013-01-22
Applicant: 南京理工大学
IPC: H01L27/148 , H01L27/146
Abstract: 本发明公开了一种具有亚微米级间隙的高效电荷转移单元及其制备工艺,该高效电荷转移寄存器由至少两个高效电荷转移单元串联而成,该高效电荷转移单元设计采用了四相结构,各相之间的间隙为亚微米级,这种亚微米级的间隙能保证电荷转移单元高效的进行电荷转移。本发明提高信号电荷的转移速度及转移效率,同时也降低了栅极的电压要求。
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公开(公告)号:CN103094299A
公开(公告)日:2013-05-08
申请号:CN201310023561.9
申请日:2013-01-22
Applicant: 南京理工大学
IPC: H01L27/148 , H01L27/146
Abstract: 本发明公开了一种具有亚微米级间隙的高效电荷转移单元及其制备工艺,该高效电荷转移寄存器由至少两个高效电荷转移单元串联而成,该高效电荷转移单元设计采用了四相结构,各相之间的间隙为亚微米级,这种亚微米级的间隙能保证电荷转移单元高效的进行电荷转移。本发明提高信号电荷的转移速度及转移效率,同时也降低了栅极的电压要求。
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