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公开(公告)号：CN106323981B
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201510348552.6
申请日：2015-06-23
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种基于偏轴型位相波带片干涉显微检测装置，包括13.5nm极紫外光源、聚焦波带片、五维精密微调整台、偏轴型波带片、光纤点衍射装置和极紫外亮暗场CCD。偏轴型波带片采用镂空位相型结构，对+1级衍射光实现调制，当光入射到样品表面，散射与反射同时发生，偏轴型波带片对反射光和散射光作用，反射光调制成轴向聚焦，散射光由偏轴型波带片反射到暗场CCD；光纤点衍射装置是为测试光提供参考光，并且参考光与测试光实现干涉，干涉图进入亮场CCD，通过计算机解读干涉图还原被测样品轮廓信息。本发明结构简单，抗振性好，精度高，系统成本低，并能同时对亮暗场分析，对位相缺陷及时定位和分析，并获取缺陷轮廓信息。
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公开(公告)号：CN106405700A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201510487379.8
申请日：2015-08-10
Applicant: 南京理工大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明公开了一种多区域结构位相型波带片，包括透光衬底和镀在所述透光衬底上的透光薄膜，在所述透光薄膜上刻蚀N个同心圆环，N≥3，所述相邻同心圆环的环带相位相差为π，沿径向方向将位相型波带片分成M个区域，2≤M≤10，每个区域的环带数N和环带位置g(n)满足以下关系：所述环带位置g(n)决定环带半径 其中第一个环带的半径λ为工作波长，f为工作焦距；假设第i个区域的环带位置gi(n)为与环带序列n有关的线性变化，即gi(n)＝ain+bi，其中ai和bi表示位置系数，ai和bi均是整数。本发明提供的多区域结构位相型波带片在同环数和同焦距情况下，相比于传统波带片具有更大的数值孔径和更小的焦斑尺寸，带宽变宽更易于加工。
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公开(公告)号：CN106323981A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201510348552.6
申请日：2015-06-23
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种基于偏轴型位相波带片干涉显微检测装置，包括13.5nm极紫外光源、聚焦波带片、五维精密微调整台、偏轴型波带片、光纤点衍射装置和极紫外亮暗场CCD。偏轴型波带片采用镂空位相型结构，对+1级衍射光实现调制，当光入射到样品表面，散射与反射同时发生，偏轴型波带片对反射光和散射光作用，反射光调制成轴向聚焦，散射光由偏轴型波带片反射到暗场CCD；光纤点衍射装置是为测试光提供参考光，并且参考光与测试光实现干涉，干涉图进入亮场CCD，通过计算机解读干涉图还原被测样品轮廓信息。本发明结构简单，抗振性好，精度高，系统成本低，并能同时对亮暗场分析，对位相缺陷及时定位和分析，并获取缺陷轮廓信息。
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公开(公告)号：CN106595529B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201610147404.2
申请日：2016-03-15
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明提出一种基于虚拟牛顿环的球面大曲率半径非零位测量方法及装置。该方法利用二阶极坐标变换将圆载频牛顿环干涉图转换为线载频干涉图，利用二阶极坐标下的线载频待测牛顿环干涉图和线载频标准牛顿环干涉图叠加形成的莫尔条纹，通过解调低通滤波后的低频莫尔条纹图，提取出待测球面与标准球面的波前差分数据，推导出了曲率半径的计算公式。基于ZEMAX软件的菲索型球面大曲率半径非零位检测系统的模型，利用有限迭代的方法校正了非零位检测中牛顿环干涉图采集时存在的回程误差。构建了菲索型球面大曲率半径非零位检测系统，完成了基于虚拟牛顿环的球面大曲率半径非零位测量技术的验证。
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公开(公告)号：CN106704898A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201510486615.4
申请日：2015-08-10
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种空间结构式太阳模拟器的光路结构，包括氙灯、椭球聚光镜、第一平面反射镜、空间折转镜、光学积分器场镜、光学积分器投影镜组、光学滤光片、第二平面反射镜、离轴抛物面反射镜。氙灯位于椭球聚光镜的第一焦点处；光学积分器场镜位于椭球聚光镜的第二焦点处，光学积分器投影镜组位于准直镜前焦面处；离轴抛物镜为系统准直镜。本发明的优点在于利用两块平面反射镜和一块空间折转镜，将传统的平面光路结构转化为空间结构，可有效折叠光路，压缩光路尺寸；此外将离轴抛物面反射镜从氙灯所在平面偏离出来，避免其他光学原件阻挡出射光，辐照中心高度有更大的调节范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106580705B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201510949607.9
申请日：2015-12-18
Applicant: 南京理工大学
IPC: A61J3/04
Abstract: 本发明公开了一种基于重粘稠膏药涂敷成型的全自动膏药机，利用传送机构、灌药机构、压膜成型机构的有机结合，辅之以光电传感器、压力传感器实现其精确定位以及定量，实现重粘稠膏药涂敷、成型一体化的流水线过程。传送机构利用控制自动送纸机和传送带速度实现膏药纸的流水线传输；灌装机构可以针对多种重粘稠膏药常温条件下的灌装过程；压模成型机构负责膏药的最终成型，将多层膏药纸压模、成型，最终收集。本发明的优点在于对于光电传感器、压力传感器的运用，实现对膏药的定位定量操作，同时又区别于市面上需要加热或者高温条件下才能运作的膏药机，可以面向重粘稠膏药，实现常温条件下“一贴多药”的全自动化过程。
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公开(公告)号：CN106595529A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201610147404.2
申请日：2016-03-15
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/255
CPC classification number: G01B11/255
Abstract: 本发明提出一种基于虚拟牛顿环的球面大曲率半径非零位测量方法及装置。该方法利用二阶极坐标变换将圆载频牛顿环干涉图转换为线载频干涉图，利用二阶极坐标下的线载频待测牛顿环干涉图和线载频标准牛顿环干涉图叠加形成的莫尔条纹，通过解调低通滤波后的低频莫尔条纹图，提取出待测球面与标准球面的波前差分数据，推导出了曲率半径的计算公式。基于ZEMAX软件的菲索型球面大曲率半径非零位检测系统的模型，利用有限迭代的方法校正了非零位检测中牛顿环干涉图采集时存在的回程误差。构建了菲索型球面大曲率半径非零位检测系统，完成了基于虚拟牛顿环的球面大曲率半径非零位测量技术的验证。
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公开(公告)号：CN106580705A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201510949607.9
申请日：2015-12-18
Applicant: 南京理工大学
IPC: A61J3/04
CPC classification number: A61J3/04
Abstract: 本发明公开了一种基于重粘稠膏药涂敷成型的全自动膏药机，利用传送机构、灌药机构、压膜成型机构的有机结合，辅之以光电传感器、压力传感器实现其精确定位以及定量，实现重粘稠膏药涂敷、成型一体化的流水线过程。传送机构利用控制自动送纸机和传送带速度实现膏药纸的流水线传输；灌装机构可以针对多种重粘稠膏药常温条件下的灌装过程；压模成型机构负责膏药的最终成型，将多层膏药纸压模、成型，最终收集。本发明的优点在于对于光电传感器、压力传感器的运用，实现对膏药的定位定量操作，同时又区别于市面上需要加热或者高温条件下才能运作的膏药机，可以面向重粘稠膏药，实现常温条件下“一贴多药”的全自动化过程。
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公开(公告)号：CN106704898B
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201510486615.4
申请日：2015-08-10
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种空间结构式太阳模拟器的光路结构，包括氙灯、椭球聚光镜、第一平面反射镜、空间折转镜、光学积分器场镜、光学积分器投影镜组、光学滤光片、第二平面反射镜、离轴抛物面反射镜。氙灯位于椭球聚光镜的第一焦点处；光学积分器场镜位于椭球聚光镜的第二焦点处，光学积分器投影镜组位于准直镜前焦面处；离轴抛物镜为系统准直镜。本发明的优点在于利用两块平面反射镜和一块空间折转镜，将传统的平面光路结构转化为空间结构，可有效折叠光路，压缩光路尺寸；此外将离轴抛物面反射镜从氙灯所在平面偏离出来，避免其他光学原件阻挡出射光，辐照中心高度有更大的调节范围。
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