公开(公告)号：CN116124004A

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN202310070081.1

申请日：2023-02-07

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 房红兵 ,  张悦 ,  王晖

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明公开了一种基于斜入射激光三角法的水下像点修正系统及方法，系统包括半导体激光器、光敏元件、透镜模组和固定支架；相机放置位置与水面垂直且距离水面有一定距离，半导体激光器发出的激光束经过准直透镜以后斜入射到水面，一部分光在水面交界处发生散射，一部分光在水下发生折射且水下点成虚像，虚像光束与散射光束经过接收透镜以后聚焦到相机上形成光斑。本发明使用非接触式测量方法，提出一种实际像点与偏折像点的修正算法，提高了测量效率。

公开(公告)号：CN115993335A

公开(公告)日：2023-04-21

申请号：CN202310141574.X

申请日：2023-02-19

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 房红兵 ,  王晖 ,  张悦

IPC: G01N21/25

Abstract: 本发明公开了一种基于数字色度法非接触式测量半导体硅片镀镍液体浓度的系统及方法，系统包括辅助照明模块、图像采集模块和数据处理系统；所述辅助照明模块由激光器、反射棱镜、准直透镜和汇聚透镜组成，用于补充照明；所述图像采集模块由CCD摄像机和镜头组成，用于采集图像；所述数据处理系统基于比尔‑朗伯定律和RGB颜色空间，通过测量液体图像特征颜色的色度值，检测镀镍液体浓度。本发明使用非接触式测量的方法测量半导体硅片镀镍工艺流程中镀镍槽液体浓度，检测精度较高，高效且成本较低。