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公开(公告)号：CN119667421A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202311207493.1
申请日：2023-09-19
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明公开了一种用于APD器件的多参数自动测试方法，利用拟合参数进行光功率校准；上位机驱动照明光源进行视觉亮度调节，利用半自动设备将显微同轴模块与APD器件进行位置配准，使得显微同轴模块出射光垂直照射在APD器件光敏面中心；根据需求对按阵列分布的晶圆类APD器件进行相应的测试，具体为通过上位机控制源表、阻抗分析仪、示波器完成相应光电参数的测试；在不结束测试的情况下，选择是否对其它APD测试点进行相关光电参数测试，若选择对其它APD测试点继续测试，则驱动半自动设备将对应APD测试点与显微同轴模块位置配准。本发明利用上位机程序集成控制多种仪器完成APD器件的多种参数自动测试，有效提高了测试的效率且增强了测试的全面性。
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