公开(公告)号：CN107359057B

公开(公告)日：2019-07-12

申请号：CN201610300913.4

申请日：2016-05-09

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 席占稳 ,  孔南 ,  聂伟荣 ,  曹云 ,  余平新

IPC: H01H1/00 ,  H01H35/14

Abstract: 本发明公开了一种可识别载荷方位区间的MEMS万向惯性开关，包括绝缘衬底、轴向电极支撑座、径向电极支撑座、弹簧支撑座、轴向电极、环形惯性质量块电极、限位止挡柱、径向电极、蛇形支撑弹簧、径向电极连接条、轴向电极连接条和至少一个质量块电极连接条，不仅可以对来自衬底上方任一方向的加速度载荷都有良好的响应，起到开关通断的作用，而且能够有效识别出开关所受到加速度载荷的空间方位，解决了已有的MEMS万向惯性开关不具备识别载荷空间方位的问题，且开关闭合的轴向阈值大于径向阈值，实现了开关轴向钝感径向敏感。

公开(公告)号：CN107359057A

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201610300913.4

申请日：2016-05-09

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 席占稳 ,  孔南 ,  聂伟荣 ,  曹云 ,  余平新

IPC: H01H1/00 ,  H01H35/14

CPC classification number: H01H1/0036 ,  H01H35/146

Abstract: 本发明公开了一种可识别载荷方位区间的MEMS万向惯性开关，包括绝缘衬底、轴向电极支撑座、径向电极支撑座、弹簧支撑座、轴向电极、环形惯性质量块电极、限位止挡柱、径向电极、蛇形支撑弹簧、径向电极连接条、轴向电极连接条和至少一个质量块电极连接条，不仅可以对来自衬底上方任一方向的加速度载荷都有良好的响应，起到开关通断的作用，而且能够有效识别出开关所受到加速度载荷的空间方位，解决了已有的MEMS万向惯性开关不具备识别载荷空间方位的问题，且开关闭合的轴向阈值大于径向阈值，实现了开关轴向钝感径向敏感。