公开(公告)号：CN102394206A

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN201110304283.5

申请日：2011-10-10

Applicant: 南京师范大学

Inventor： 张金龙 ,  徐慧 ,  廉美琳

IPC: H01J9/00 ,  H01J9/14 ,  H01J9/42

Abstract: 本发明涉及显示器器件制造的技术领域，提出一种采用衍射叠栅信号技术实现荫罩母板的精密自动对准系统和方法。采用差动叠栅信号技术检测位置偏差，可有效检测两块玻璃母板的相对位置偏差，并确保较高的检测精度。对准系统取透射的0次差动叠栅信号为控制信号，由光电二极管转换为电信号，经放大、滤波等处理后，由A/D转换器转换为数字信号，输入工业控制计算机，微机根据输入的信号确定位置偏差的大小和方向，再发出相应的驱动脉冲信号，使步进电机细分步驱动活动母板，达到所要求的位置精度范围，最终使活动母板与固定母板完全对准。系统在软、硬件方面采取了一系列抗干扰措施，确保了较高的对准精度及工作可靠性，对准精度为±0.5μm。

公开(公告)号：CN102394206B

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201110304283.5

申请日：2011-10-10

Applicant: 南京师范大学

Inventor： 张金龙 ,  徐慧 ,  廉美琳

IPC: H01J9/00 ,  H01J9/14 ,  H01J9/42

Abstract: 本发明涉及显示器器件制造的技术领域，提出一种采用衍射叠栅信号技术实现荫罩母板的精密自动对准系统和方法。采用差动叠栅信号技术检测位置偏差，可有效检测两块玻璃母板的相对位置偏差，并确保较高的检测精度。对准系统取透射的0次差动叠栅信号为控制信号，由光电二极管转换为电信号，经放大、滤波等处理后，由A/D转换器转换为数字信号，输入工业控制计算机，微机根据输入的信号确定位置偏差的大小和方向，再发出相应的驱动脉冲信号，使步进电机细分步驱动活动母板，达到所要求的位置精度范围，最终使活动母板与固定母板完全对准。系统在软、硬件方面采取了一系列抗干扰措施，确保了较高的对准精度及工作可靠性，对准精度为±0.5μm。