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发明公开
一种基于液压放大的压电微动平台审中-实审

公开(公告)号：CN116667697A

公开(公告)日：2023-08-29

申请号：CN202310588824.4

申请日：2023-05-24

Applicant: 南京工程学院

Inventor： 许有熊 , 庄广锋 , 朱松青 , 刘娣 , 杨柳 , 高海淘

IPC: H02N2/04 , H02N2/06

Abstract: 本发明提供一种基于液压放大的压电微动平台，包括压电驱动模块、液压放大模块、导轨模块、位移检测模块、底板、静平台、动平台；x轴导轨模块和y轴导轨模块安装在动平台两侧表面，位移检测模块分别安装在x轴导轨模块和y轴导轨模块上；x轴压电驱动模块和x轴液压放大模块固定在底板上，x轴压电驱动模块和x轴液压放大模块驱动连接，x轴液压放大模块和y轴位移检测模块固定连接；y轴压电驱动模块和y轴液压放大模块均固定在底板上，y轴压电驱动模块和y轴液压放大模块驱动连接，y轴液压放大模块和x轴位移检测模块固定连接。本发明将压电驱动器与液压位移放大机构结合起来，提供了一种两自由度压电微动平台，运动范围大、控制精度高。

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