公开(公告)号：CN102723303A

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN201210194434.0

申请日：2012-06-13

Applicant: 南京工业大学 ,  南京工大数控科技有限公司

Inventor： 洪荣晶 ,  钟黔 ,  方成刚

IPC: H01L21/68

Abstract: 一种XY两坐标气浮定位平台，其特征是包括底座、X轴基座（2）、X轴导向导轨（3）、X轴直线电机定子（4）、Y轴基座（6）、Y轴直线电机定子（7）、Y轴导向导轨（8）、X轴滑台（5）、Y轴滑台（9）和工作平台（10），底座上采用螺栓固定连接的方式安装了X轴基座（2）和Y轴基座（6），X轴基座（2）上通过螺栓固定连接的方式安装X轴导向导轨（3）和X轴直线电机定子（4）。本发明特点是启用气浮支撑形式，平台相对运动部分用一定刚度的气膜隔开，系统无摩擦，采用直线电机驱动的方式，避免高速运动下，质心偏转导致传动副精度降低的问题，提高平台定位精度、速度和加速度，满足工业要求。

公开(公告)号：CN102723303B

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201210194434.0

申请日：2012-06-13

Applicant: 南京工业大学 ,  南京工大数控科技有限公司

Inventor： 洪荣晶 ,  钟黔 ,  方成刚

IPC: H01L21/68

Abstract: 一种XY两坐标气浮定位平台，其特征是包括底座、X轴基座（2）、X轴导向导轨（3）、X轴直线电机定子（4）、Y轴基座（6）、Y轴直线电机定子（7）、Y轴导向导轨（8）、X轴滑台（5）、Y轴滑台（9）和工作平台（10），底座上采用螺栓固定连接的方式安装了X轴基座（2）和Y轴基座（6），X轴基座（2）上通过螺栓固定连接的方式安装X轴导向导轨（3）和X轴直线电机定子（4）。本发明特点是启用气浮支撑形式，平台相对运动部分用一定刚度的气膜隔开，系统无摩擦，采用直线电机驱动的方式，避免高速运动下，质心偏转导致传动副精度降低的问题，提高平台定位精度、速度和加速度，满足工业要求。

公开(公告)号：CN202712146U

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201220278159.6

申请日：2012-06-13

Applicant: 南京工业大学 ,  南京工大数控科技有限公司

Inventor： 洪荣晶 ,  钟黔 ,  方成刚

IPC: H01L21/68

Abstract: 一种XY两坐标气浮定位平台，其特征是包括底座、X轴基座（2）、X轴导向导轨（3）、X轴直线电机定子（4）、Y轴基座（6）、Y轴直线电机定子（7）、Y轴导向导轨（8）、X轴滑台（5）、Y轴滑台（9）和工作平台（10），底座上采用螺栓固定连接的方式安装了X轴基座（2）和Y轴基座（6），X轴基座（2）上通过螺栓固定连接的方式安装X轴导向导轨（3）和X轴直线电机定子（4）。本实用新型特点是启用气浮支撑形式，平台相对运动部分用一定刚度的气膜隔开，系统无摩擦，采用直线电机驱动的方式，避免高速运动下，质心偏转导致传动副精度降低的问题，提高平台定位精度、速度和加速度，满足工业要求。