公开(公告)号：CN107385417A

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201710801691.9

申请日：2017-09-07

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 郭鸿晨 ,  陈志宽 ,  黄维

IPC: C23C16/455

CPC classification number: C23C16/45544

Abstract: 本发明涉及空气动力学反应装置，特别是涉及一种反应腔导流装置。本发明所提供的反应腔导流装置包括第一导流鳍和第二导流鳍，所述第一导流鳍和第二导流鳍互相配合形成导流空间，所述导流空间中第一导流鳍和第二导流鳍之间的间距沿流体的流向逐渐减小、且至少部分的用于形成导流空间的导流鳍的表面为柔性表面，所述第一导流鳍和/或第二导流鳍中还设有用于调节柔性表面形状的导流面调节件。

公开(公告)号：CN207452249U

公开(公告)日：2018-06-05

申请号：CN201721143432.3

申请日：2017-09-07

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 郭鸿晨 ,  陈志宽 ,  黄维

IPC: C23C16/455

Abstract: 本实用新型涉及空气动力学反应装置，特别是涉及一种反应腔导流装置。本实用新型所提供的反应腔导流装置包括第一导流鳍和第二导流鳍，所述第一导流鳍和第二导流鳍互相配合形成导流空间，所述导流空间中第一导流鳍和第二导流鳍之间的间距沿流体的流向逐渐减小、且至少部分的用于形成导流空间的导流鳍的表面为柔性表面，所述第一导流鳍和/或第二导流鳍中还设有用于调节柔性表面形状的导流面调节件。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN207452250U

公开(公告)日：2018-06-05

申请号：CN201721143445.0

申请日：2017-09-07

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 郭鸿晨 ,  陈志宽 ,  黄维

IPC: C23C16/455

Abstract: 本实用新型涉及空气动力学领域，特别是涉及一种空气动力学反应装置。本实用新型提供一种空气动力学反应装置，所述装置包括反应腔和进气整流罩，所述进气整流罩包括进气整流罩流体入口和进气整流罩流体出口，所述进气整流罩流体出口的面积大于进气整流罩流体入口的面积、且所述进气整流罩的内腔的大小自进气整流罩流体入口至进气整流罩流体出口均匀变化，所述反应腔包括反应腔流体入口和反应腔流体出口，所述反应腔流体入口与进气整流罩流体出口相配合。本实用新型所提供的空气动力学反应装置通过整流罩的设计，使气流进入腔体之前先行成稳定的气流，并可以在腔体内形成稳定的层流状态，从而使得表面原子层沉积等反应可以稳定、顺利地进行。