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公开(公告)号：CN111179371B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201911412868.1
申请日：2019-12-31
Applicant: 南京大学
IPC: G06T11/00
Abstract: 本发明公开了一种扫描电子显微成像方法，属于显微成像技术领域。本发明的一种扫描电子显微成像方法，利用扫描电镜对不同会聚角的光阑下的目标物体进行扫描得到衍射图案，将每个光阑对应的衍射图案进行混合得到混合衍射图案，根据混合衍射图案进行多次迭代计算重构O(r)，采用最终迭代计算重构的Oz(r)作为目标物体最终的复振幅分布函数，根据Oz(r)的振幅和相位得到重构的目标物体图像。本发明的目的在于克服现有技术中，层叠成像方法中单一光阑产生的衍射图案只能得到目标物体一部分频段信息的重构图像的不足，提供了一种扫描电子显微成像方法，可以获得目标物体的高频特征和低频特征，从而可以得到清晰完整的目标物体图像。
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公开(公告)号：CN111445554A
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN202010387141.9
申请日：2020-05-09
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种多会聚角混合扫描电子显微成像方法，属于显微成像技术领域。本发明的方法为，利用不同会聚角的荷电粒子束对目标物体进行扫描得到若干个衍射图案集，将不同会聚角的荷电粒子束对应的衍射图案集进行混合得到混合衍射图案集，再采用重构算法并根据混合衍射图案集进行重构得到目标物体图像；其中，混合衍射图案集均匀分布有不同会聚角的荷电粒子束对应的衍射图案。本发明的目的在于克服现有技术中，重构算法中在单一会聚角下只能够得到目标物体的一部分频段信息的重构图像，导致重构的目标物体图像信息不完整不足，本发明的方法可以获取目标物体的完整的频段特征信息，从而可以得到更清晰完整的目标物体图像。
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公开(公告)号：CN111179371A
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201911412868.1
申请日：2019-12-31
Applicant: 南京大学
IPC: G06T11/00
Abstract: 本发明公开了一种扫描电子显微成像方法，属于显微成像技术领域。本发明的一种扫描电子显微成像方法，利用扫描电镜对不同会聚角的光阑下的目标物体进行扫描得到衍射图案，将每个光阑对应的衍射图案进行混合得到混合衍射图案，根据混合衍射图案进行多次迭代计算重构O(r)，采用最终迭代计算重构的Oz(r)作为目标物体最终的复振幅分布函数，根据Oz(r)的振幅和相位得到重构的目标物体图像。本发明的目的在于克服现有技术中，层叠成像方法中单一光阑产生的衍射图案只能得到目标物体一部分频段信息的重构图像的不足，提供了一种扫描电子显微成像方法，可以获得目标物体的高频特征和低频特征，从而可以得到清晰完整的目标物体图像。
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公开(公告)号：CN111445554B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202010387141.9
申请日：2020-05-09
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种多会聚角混合扫描电子显微成像方法，属于显微成像技术领域。本发明的方法为，利用不同会聚角的荷电粒子束对目标物体进行扫描得到若干个衍射图案集，将不同会聚角的荷电粒子束对应的衍射图案集进行混合得到混合衍射图案集，再采用重构算法并根据混合衍射图案集进行重构得到目标物体图像；其中，混合衍射图案集均匀分布有不同会聚角的荷电粒子束对应的衍射图案。本发明的目的在于克服现有技术中，重构算法中在单一会聚角下只能够得到目标物体的一部分频段信息的重构图像，导致重构的目标物体图像信息不完整不足，本发明的方法可以获取目标物体的完整的频段特征信息，从而可以得到更清晰完整的目标物体图像。
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