公开(公告)号：CN120064312A

公开(公告)日：2025-05-30

申请号：CN202510125206.5

申请日：2025-01-26

Applicant: 南京大学 ,  曲靖正则软件开发有限公司

Inventor： 雷天悟 ,  邹宁睦 ,  曾梓康 ,  王艺儒 ,  宋进超 ,  王忠文

IPC: G01N21/95 ,  G06V10/141 ,  G06V10/46 ,  G06V10/50 ,  G06V10/75 ,  G06V10/74 ,  G06V10/82 ,  G06T7/00 ,  G01N21/93

Abstract: 本发明提供了一种基于缺陷区域图像的AOI光学配置方法、系统、电子设备、存储介质和计算机程序产品。该AOI光学配置方法包括：获取预设数量的待检测样品的缺陷区域图像，缺陷区域图像是在初始AOI光学配置的配置环境下所确定的；对预设数量的待检测样品的缺陷区域图像和标准样品的标准图像进行图像差分处理，以确定出初始AOI光学配置的缺陷暴露能力；根据预设搜索算法确定出使得缺陷暴露能力满足预设要求的目标AOI光学配置，以指示用户根据目标AOI光学配置对初始光学配置进行调整。

公开(公告)号：CN120070407A

公开(公告)日：2025-05-30

申请号：CN202510238255.X

申请日：2025-03-03

Applicant: 南京大学

Inventor： 邹宁睦 ,  曾梓康 ,  雷天悟 ,  王艺儒 ,  张昊天 ,  王柏涵

IPC: G06T7/00 ,  G06V10/44 ,  G06V10/764 ,  G06V10/82 ,  G06N3/045 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/084

Abstract: 本发明公开一种晶圆缺陷区域图像质量评估方法、装置、设备及存储介质。方法包括获取目标晶圆图像；对目标晶圆图像进行切分处理，得到多个待识别图像后输入当前特征提取模型中进行特征提取，以得到多个具有目标标记的目标特征图，将多个目标特征图输入当前预测模型中进行评估，以得到多个预测质量指标；基于多个预测质量指标，确定目标晶圆图像的整体质量指标；获取图像质量评估参数；基于整体质量指标以及图像质量评估参数，确定目标晶圆图像的质量评估结果。本方案可以将缺陷定位至切分后的图像块，对每个图像块单独做图像质量评估，相比于整体质量评估，可以比较好的捕捉到细微的变化和缺陷特征，提高了晶圆缺陷区域图像质量评估准确性。