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公开(公告)号：CN2098691U
公开(公告)日：1992-03-11
申请号：CN90227050.8
申请日：1990-12-30
Applicant: 南京大学
Inventor： 张荣 , 郑有炓 , 王永生 , 胡立群
IPC: G01R31/26
Abstract: 本实用新型为半导体界面态参数测量仪，它产生正交信号另与斜坡电压信号叠加后施加在样品上，样品上取出的信号经电流放大后输至锁相放大器放大输出至记录装置。锁相放大器中积分电路的模拟开关由与正弦或余弦信号同频率及位相的方波信号控制。本实用新型在测试中同时考虑到电容及电导参量，对样品的漏电流要求不高，同时提高了测量精度，兼具高频C-V准静态C-V等测量仪的功能。
