公开(公告)号：CN110274889B

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN201810213972.7

申请日：2018-03-15

Applicant: 南京大学

Inventor： 纪小丽 ,  罗明成 ,  桑浩 ,  林栩凌 ,  任芳芳 ,  闫锋

IPC: G01N21/3586 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种基于表面等离子体共振天线的多通道太赫兹光谱探测单元。该探测单元包括表面等离子体共振天线和晶体管；表面等离子体共振天线由两个对称设置的天线单元构成，天线单元包括半圆形的头部和矩形的杆部，杆部与头部在半圆形的圆心处垂直连接；晶体管设置在两个天线单元的杆部之间且垂直于天线单元所在的平面；晶体管的栅极与共振天线位于同一金属层。由上述探测单元构成的多通道太赫兹光谱探测芯片，不仅能实现对多波长太赫兹信号进行探测，同时实现了太赫兹波段的单频分光，能大幅度提高光谱探测效率，具有体积小、重量轻、高精度、高频响，高可靠、长寿命、低功耗、低成本等突出优势，有利于实现光谱探测系统的微型化与小型化。

公开(公告)号：CN110274889A

公开(公告)日：2019-09-24

申请号：CN201810213972.7

申请日：2018-03-15

Applicant: 南京大学

Inventor： 纪小丽 ,  罗明成 ,  桑浩 ,  林栩凌 ,  任芳芳 ,  闫锋

IPC: G01N21/3586 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种基于表面等离子体共振天线的多通道太赫兹光谱探测单元。该探测单元包括表面等离子体共振天线和晶体管；表面等离子体共振天线由两个对称设置的天线单元构成，天线单元包括半圆形的头部和矩形的杆部，杆部与头部在半圆形的圆心处垂直连接；晶体管设置在两个天线单元的杆部之间且垂直于天线单元所在的平面；晶体管的栅极与共振天线位于同一金属层。由上述探测单元构成的多通道太赫兹光谱探测芯片，不仅能实现对多波长太赫兹信号进行探测，同时实现了太赫兹波段的单频分光，能大幅度提高光谱探测效率，具有体积小、重量轻、高精度、高频响，高可靠、长寿命、低功耗、低成本等突出优势，有利于实现光谱探测系统的微型化与小型化。

公开(公告)号：CN110361349B

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN201810288550.6

申请日：2018-04-03

Applicant: 南京大学

Inventor： 任芳芳 ,  罗明成 ,  纪小丽 ,  林栩凌 ,  张朝阳 ,  闫锋

IPC: G01N21/35

Abstract: 本发明公开了一种基于集成电路工艺的多通道红外光谱探测器及其制备方法。该探测器包括多个由金属表面等离激元结构构成的探测阵列单元以及微测辐射热计；金属表面等离激元结构采用正方形周期排列的金属圆柱体，金属圆柱体的周围为空气；微测辐射热计包括桥墩、桥臂、红外吸收体和热敏电阻；金属表面等离激元结构沉积在微测辐射热计的红外吸收体上；多个探测阵列单元的金属表面等离激元结构的参数不相同。本发明通过集成电路工艺，在同一红外探测器阵列芯片上集成金属表面等离激元结构和红外探测器等模块，可获得不同波长的探测信号光信息，能实现对多种波长信号的同时检测，且具有结构简单、便于集成、成本低等优点。

公开(公告)号：CN110361349A

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201810288550.6

申请日：2018-04-03

Applicant: 南京大学

Inventor： 任芳芳 ,  罗明成 ,  纪小丽 ,  林栩凌 ,  张朝阳 ,  闫锋

IPC: G01N21/35

Abstract: 本发明公开了一种基于集成电路工艺的多通道红外光谱探测器及其制备方法。该探测器包括多个由金属表面等离激元结构构成的探测阵列单元以及微测辐射热计；金属表面等离激元结构采用正方形周期排列的金属圆柱体，金属圆柱体的周围为空气；微测辐射热计包括桥墩、桥臂、红外吸收体和热敏电阻；金属表面等离激元结构沉积在微测辐射热计的红外吸收体上；多个探测阵列单元的金属表面等离激元结构的参数不相同。本发明通过集成电路工艺，在同一红外探测器阵列芯片上集成金属表面等离激元结构和红外探测器等模块，可获得不同波长的探测信号光信息，能实现对多种波长信号的同时检测，且具有结构简单、便于集成、成本低等优点。