公开(公告)号：CN117666292A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202211462987.X

申请日：2022-11-22

Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 ,  南京大学 ,  苏州大学

Inventor： 浦东林 ,  陈林森 ,  黄文彬 ,  朱鸣 ,  乔文 ,  朱鹏飞 ,  邵仁锦 ,  张瑾 ,  陆延青 ,  徐挺 ,  张伟华 ,  胡伟

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种用于偏振干涉光刻的光路结构与偏振干涉光刻系统，所述光路结构包括串接在光路上的光源模块、偏振组件、分光组件、成像组件；所述光源模块用于产生具有相干特性的线偏振光束；所述分光组件用于将射入的光线分出两束光线且射向所述成像组件，两束光线的夹角可变且可绕入射光线光轴旋转，所述成像组件用于将两束光线汇聚在光刻基片表面；所述分光组件配合所述偏振组件用于将线偏振光进行光学调制，使光束到达光刻基片时为两束偏振方向相反的圆偏振光，进而形成偏振干涉光场。本发明建立偏振干涉光刻系统，通过控制分光组件和偏振组件，能调节光场中偏振结构的周期、取向等参量，与偏振感光材料进行光化学作用，形成特定的偏振图形分布，偏振光刻系统根据预定义的偏振图形设计文件，控制上述偏振光场参量与基片的坐标走位，进行光场拼接光刻，在光刻基片上形成预期的偏振图形分布。

公开(公告)号：CN117409129A

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN202311298753.0

申请日：2023-10-09

Applicant: 南京大学

Inventor： 朱鹏飞 ,  刘一凡 ,  周辰熙 ,  吕培元 ,  宋睿哲 ,  过洁 ,  郭延文 ,  赖水长 ,  陈慕凡

IPC: G06T15/06 ,  G06T17/00 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/0455 ,  G06N3/0442 ,  G06N3/0895

Abstract: 本发明公开了一种基于半监督学习的表面材质重建方法、装置及存储介质，本发明首先建立材质重建网络模型，所述材质重建网络模型包括编码器模块、特征组合门控循环模块、双分支模块、分支选择开关、特征融合门控循环模块和解码器模块，其次获取若干物体图像作为训练样本，将对应材质图像作为标签，输入材质重建网络模型进行训练；最后将待重建图像输入训练好的材质重建网络模型，得到物体的表面材质重建图像。本发明重建效果更好，成本更低。

公开(公告)号：CN116681824A

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN202310603940.9

申请日：2023-05-26

Applicant: 南京大学

Inventor： 刘一凡 ,  过洁 ,  郭延文 ,  赖水长 ,  陈慕凡 ,  朱鹏飞

IPC: G06T17/00 ,  G06T5/00 ,  G06T3/40 ,  G06V10/40 ,  G06V10/82 ,  G06N3/08 ,  G06N3/0464

Abstract: 本发明公开了一种物体表面材质重建方法、装置及存储介质，本发明首先建立了材质重建网络模型，所述材质重建网络模型包括预处理模块、高光感知分支、标准卷积分支、拼接层、注意力机制结构、第一低秩适配器和第二低秩适配器；其次获取若干物体图像作为训练样本，将对应材质图像作为标签，输入材质重建网络模型进行训练；最后将待重建材质的图像输入训练好的材质重建网络模型，得到物体的表面材质重建图像。本发明性能更高，且不需要大量算力和数据就可以实现自行调优。