公开(公告)号：CN109282903B

公开(公告)日：2020-11-13

申请号：CN201710596908.7

申请日：2017-07-20

Applicant: 南京大学

Inventor： 纪小丽 ,  张朝阳 ,  杨琪轩 ,  沈凡翔 ,  黄延 ,  段佳华 ,  朱晨昕 ,  司伟 ,  闫锋

IPC: G01J5/20

Abstract: 本发明公开了一种基于表面电磁波共振的高性能CMOS红外微测辐射热计。该微测辐射热计包括L形微桥结构，微桥结构单元包括桥墩、桥臂和红外吸收体，红外吸收体为多层结构，自上而下依次为氮化硅层、金属光栅层、二氧化硅层、蛇形铝热敏电阻层和二氧化硅层。本发明的微测辐射热计结构与传统的微测辐射热计结构相比，在热敏电阻层上面增加了金属光栅，形成MIM结构，该结构利用表面电磁波激发共振，显著提高了探测器的红外吸收率，增加了探测器响应，实现高效率探测。同时本发明的微测辐射热计基于标准CMOS集成电路工艺，具有工艺上容易实现、价格低廉等优点。

公开(公告)号：CN109282903A

公开(公告)日：2019-01-29

申请号：CN201710596908.7

申请日：2017-07-20

Applicant: 南京大学

Inventor： 纪小丽 ,  张朝阳 ,  杨琪轩 ,  沈凡翔 ,  黄延 ,  段佳华 ,  朱晨昕 ,  司伟 ,  闫锋

IPC: G01J5/20

Abstract: 本发明公开了一种基于表面电磁波共振的高性能CMOS红外微测辐射热计。该微测辐射热计包括L形微桥结构，微桥结构单元包括桥墩、桥臂和红外吸收体，红外吸收体为多层结构，自上而下依次为氮化硅层、金属光栅层、二氧化硅层、蛇形铝热敏电阻层和二氧化硅层。本发明的微测辐射热计结构与传统的微测辐射热计结构相比，在热敏电阻层上面增加了金属光栅，形成MIM结构，该结构利用表面电磁波激发共振，显著提高了探测器的红外吸收率，增加了探测器响应，实现高效率探测。同时本发明的微测辐射热计基于标准CMOS集成电路工艺，具有工艺上容易实现、价格低廉等优点。