-
公开(公告)号:CN1884042A
公开(公告)日:2006-12-27
申请号:CN200610040741.8
申请日:2006-05-30
Applicant: 南京大学
IPC: B82B3/00
Abstract: 一种间距与构型可调控的纳米颗粒有序阵列的制备方法,它是将嵌段聚合物溶解于溶剂中,把溶液旋涂于衬底(5)上,置于称量瓶中内滴甲苯,用铝箔或棉布密封,制成有序图案模板,固定在衬底座(5)上,置于沉积室(8)中,抽真空,向冷凝室(6)内充入惰性气体,由原子化器(1)通过磁控溅射或高温蒸发产生原子气,经冷凝室(6)中的惰性气体冷凝生长成纳米粒子,通过喷嘴(2)形成高度定向纳米粒子束流(4);纳米粒子束流对模板衬底沉积,当覆盖率≤100%时停止沉积,便可得到线形纳米粒子阵列,或二维有序纳米粒子阵列。本发明方法具有工艺简单、成本低、高效率、易于规模化生产等特点。
-
公开(公告)号:CN100503423C
公开(公告)日:2009-06-24
申请号:CN200610040741.8
申请日:2006-05-30
Applicant: 南京大学
IPC: B82B3/00
Abstract: 一种间距与构型可调控的纳米颗粒有序阵列的制备方法,它是将嵌段聚合物溶解于溶剂中,把溶液旋涂于衬底(5)上,置于称量瓶中内滴甲苯,用铝箔或棉布密封,制成有序图案模板,固定在衬底座(5)上,置于沉积室(8)中,抽真空,向冷凝室(6)内充入惰性气体,由原子化器(1)通过磁控溅射或高温蒸发产生原子气,经冷凝室(6)中的惰性气体冷凝生长成纳米粒子,通过喷嘴(2)形成高度定向纳米粒子束流(4);纳米粒子束流对模板衬底沉积,当覆盖率≤100%时停止沉积,便可得到线形纳米粒子阵列,或二维有序纳米粒子阵列。本发明方法具有工艺简单、成本低、高效率、易于规模化生产等特点。
-