具有三层基板的微机械传感器

    公开(公告)号:CN103744130A

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201410001234.8

    申请日:2014-01-03

    Abstract: 本发明公开了具有三层基板的微机械传感器,属于微机械传感器的技术领域。所述传感器包括三层单晶硅片制成的基板、利用三层基板以及空腔结构构建气体流通的唯一路径。使用MEMS加工工艺,减小了传感器体积。利用这种微机械传感器可测量降水粒子。

    具有三层基板的微机械传感器

    公开(公告)号:CN103744130B

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201410001234.8

    申请日:2014-01-03

    Abstract: 本发明公开了具有三层基板的微机械传感器,属于微机械传感器的技术领域。所述传感器包括三层单晶硅片制成的基板、利用三层基板以及空腔结构构建气体流通的唯一路径。使用MEMS加工工艺,减小了传感器体积。利用这种微机械传感器可测量降水粒子。

    一种脉冲信号测量电路
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203894321U

    公开(公告)日:2014-10-22

    申请号:CN201420263111.7

    申请日:2014-05-21

    Abstract: 本实用新型公开了一种脉冲信号测量电路,包含传感器、模数转换单元、控制单元、初级线圈、多个串联的次级线圈,所述初级线圈连接在传感器的输出端,所述次级线圈连接在电压跟随器输入端,电压跟随器输出端连接在模数转单元的输入端,模数转换器输出端连接在控制单元上。该实用新型结构简单、造价便宜、功耗低、适用性强且利用感应线圈对传感器的输出信号进行幅度衰减,使得传感器的输出信号衰减到可测量的范围,进而可以方便准确地测量传感器的输出信号。

    一种电压测量装置
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203894320U

    公开(公告)日:2014-10-22

    申请号:CN201420259118.1

    申请日:2014-05-21

    Abstract: 本实用新型公开了一种电压测量装置,包含模数转换单元、控制单元、至少两个串联的分压电阻,以及与所述分压电阻一一对应且数量相同的电压跟随器;所述每个分压电阻连接电压跟随器的输入端,所述电压跟随器依次连接模数转换单元和控制单元。分压电阻对输入信号进行分压处理,电压跟随器将分压电阻上的信号缓冲并输入模数转换单元,模数转换器将采集到的模拟信号转换成数字信号交给微处理器作最终处理。利用分压电阻对传感器的输出电压进行分压,使得传感器的输出电压达到可测量的范围,进而能方便准确地测量传感器的电压。

    一种温度测量装置及系统

    公开(公告)号:CN203949736U

    公开(公告)日:2014-11-19

    申请号:CN201420259119.6

    申请日:2014-05-21

    Abstract: 本实用新型公开了一种温度测量装置及系统,一种温度测量装置,包含温度传感器,其特征在于:还包含用于所述温度传感器加热的加热模块。一种温度测量系统,包含至少两组用于交替无间断测量的测温模块和数模转换模块、控制模块;所述测温模块包含用于测温的温度传感器、用于温度传感器加热的加热模块;所述温度传感器输出端连接模数转换模块的输入端,所述模数转换模块输出端连接控制终端的输入端。该装置能够克服因为液态水或固态水粘附在传感器表面而产生误差的局限性,提高了测量精度。

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