公开(公告)号：CN118962186A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411359702.9

申请日：2024-09-27

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 杨紫琪 ,  郭颖 ,  谢国康

IPC: G01Q60/04 ,  G01Q60/24 ,  G01Q60/10

Abstract: 本发明公开了一种STM‑AFM组合扫描探针显微镜的原位扫描方法，包括使用STM的恒流模式或者AFM的调频/调幅模式进行整幅样品的预扫描，扫描完成后，将样品表面数据传递给上位机，此样品表面数据称为样品数据1，上位机根据上传回来的扫描数据判断，通过人工或者人工智能算法分析选取感兴趣的样品候选区域，对筛选出来的样品候选区域进行STM‑AFM融合扫描，将扫描得到的样品数据2和样品数据3传递给上位机，得到样品表面的电子态信息。本发明减少融合扫描所需要的时间，从而加快了整体扫描速度，减少图像漂移；能够减少扫描过程中的撞针现象和样品损坏风险，显著提高了成像的可靠性和质量。

公开(公告)号：CN117741185A

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202311746724.6

申请日：2023-12-18

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 杨紫琪 ,  郭颖 ,  谢国康 ,  赵兴强

IPC: G01Q60/02

Abstract: 本发明公开了一种集成式多头快速切换型扫描探针显微镜及扫描方法，所述扫描探针显微镜包括共用惯性马达、多根压电扫描管、方形重物块、弹簧片、样品台、金属外壳、滑杆、限位环、绝缘环、固定绝缘环以及绝缘顶盖，所述共用惯性马达上边设置有绝缘顶盖，绝缘顶盖上固定方形重物块，所述共用惯性马达在横向1/4处分割为两部分，分别为横向惯性马达和纵向惯性马达，电极分割处粘接固定绝缘环，且绝缘环外有两处和金属外壳固定的凸起，金属外壳包裹整个共用惯性马达以及方形重物块之上的探针扪描头，金属外壳侧边为滑杆，滑杆顶端由连接杆连接，连接杆上粘接有样品台。本发明具备快速切换不同扫描头的能力，从而显著提高了显微镜的使用效率和便捷性。