公开(公告)号：CN103411888A

公开(公告)日：2013-11-27

申请号：CN201310379392.2

申请日：2013-08-27

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 张仙玲 ,  范旭东 ,  肖韶荣 ,  赵静

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明公开了一种气体浓度测量方法及测量装置。本发明气体浓度测量方法是一种基于光学膜厚测量间接测量气体浓度检测的方法：平行光入射到某聚合物薄膜上，经其上下表面反射的光形成干涉，干涉光强随入射角近似成余弦变化；当有气体通过该膜层时，会引起膜层光学厚度（折射率膜厚）的改变，引起入射角-干涉光强曲线发生平移；测量气体通入薄膜前后干涉光光强达到峰值时的入射角的改变，计算出聚合物薄膜光学厚度的改变量，从而计算出气体浓度。本发明气体浓度测量装置结构简单，成本低，操作方便，能有效测量气体浓度，尤其是对微量气体浓度的测量更加精确，减小了测量误差，在基于薄膜光学厚度变化测量原理的高精度气体浓度测量具有重要意义。

公开(公告)号：CN103411888B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201310379392.2

申请日：2013-08-27

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 张仙玲 ,  范旭东 ,  肖韶荣 ,  赵静

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明公开了一种气体浓度测量方法及测量装置。本发明气体浓度测量方法是一种基于光学膜厚测量间接测量气体浓度检测的方法：平行光入射到某聚合物薄膜上，经其上下表面反射的光形成干涉，干涉光强随入射角近似成余弦变化；当有气体通过该膜层时，会引起膜层光学厚度（折射率×膜厚）的改变，引起入射角-干涉光强曲线发生平移；测量气体通入薄膜前后干涉光光强达到峰值时的入射角的改变，计算出聚合物薄膜光学厚度的改变量，从而计算出气体浓度。本发明气体浓度测量装置结构简单，成本低，操作方便，能有效测量气体浓度，尤其是对微量气体浓度的测量更加精确，减小了测量误差，在基于薄膜光学厚度变化测量原理的高精度气体浓度测量具有重要意义。