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发明公开
(010)面β相III族氧化物复合结构及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN118538800A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410495572.5

申请日：2024-04-24

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 赵见国 , 殷瑞 , 张玉尧 , 徐儒 , 常建华

IPC: H01L31/032 , H01L31/036 , H01L31/18 , H01L21/02

Abstract: 本发明公开了一种(010)面β相III族氧化物复合结构及其制备方法，此复合结构包括自下而上依次设置的：上表面以(110)晶面高Al组分AlGaN结尾的复合衬底101、III族氧化物复合引导层102和(010)面β相III族氧化物薄膜103。此复合结构以III族氮化物标准制备工艺为基础，解决了当前(010)面β相氧化物缺乏合适异质外延衬底的问题，为外延生长高质量(010)晶面III族氧化物结构提供了新的解决方案。

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