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公开(公告)号：CN213340287U
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202022961525.5
申请日：2020-12-11
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: H01L21/283 , C23C14/04 , C23C14/24
Abstract: 本实用新型公开了一种制备叉指电极的硬掩膜板，通过在现有技术的基础上进行改进，将制备叉指电极的硬掩膜板分为两部分，用于分步骤蒸镀叉指电极的电极组和连接组，使模板上交叉部位密集分布的镂空部相互独立，互不连通，减少每个独立镂空部的边缘长度，提高分布较密集的镂空部周围的模板结构对镂空部的支撑性，从而使制备叉指电极的硬掩膜板在确保电极薄度的前提下，相较于现有的模板，整体具有更好承重性能，不易发生断裂，能够用于实现更窄的线宽，更小的线间距和更大有效面积制备叉指电极，且具有低损耗、高成品率制备的优点。
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