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公开(公告)号：CN111505341B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202010341820.2
申请日：2020-04-27
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种多样品快速更换型扫描探针显微镜，包括样品台、探针，XY限位装置、质量块、扫描管、压电管，所述样品台与探针两者之一安装于质量块，另一者安装于扫描管自由端，初始状态时探针正对着样品台中间位置；所述质量块设于XY限位装置内，质量块安装在压电管顶端，对压电管施加尖峰信号，通过控制压电管甩动来带动质量块在XY限位装置内XY方向上的移动；扫描管与压电管两者之一连接驱动机构，另一者连接基座。本发明通过二维方向移动质量块，使得样品台四个角和中心的样品都能精确处于扫描管正下方，能够实现多种样品的依次扫描与快速切换。
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公开(公告)号：CN111505341A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010341820.2
申请日：2020-04-27
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种多样品快速更换型扫描探针显微镜，包括样品台、探针，XY限位装置、质量块、扫描管、压电管，所述样品台与探针两者之一安装于质量块，另一者安装于扫描管自由端，初始状态时探针正对着样品台中间位置；所述质量块设于XY限位装置内，质量块安装在压电管顶端，对压电管施加尖峰信号，通过控制压电管甩动来带动质量块在XY限位装置内XY方向上的移动；扫描管与压电管两者之一连接驱动机构，另一者连接基座。本发明通过二维方向移动质量块，使得样品台四个角和中心的样品都能精确处于扫描管正下方，能够实现多种样品的依次扫描与快速切换。
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