一种高结合力多梯度靶系统及其制备方法

    公开(公告)号:CN118450586A

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN202410558773.5

    申请日:2024-05-06

    IPC分类号: H05H6/00

    摘要: 本发明涉及核技术领域,公开了一种高结合力多梯度靶系统及其制备方法。该多梯度靶系统包括:基底,设于基底上表面的氢扩散层,设于氢扩散层表面的靶材层。氢扩散层以氢扩散材料为基质,基质中分散有与基底材质相同的掺杂元素,且由下到上氢扩散层中所述掺杂元素的含量多梯度降低。本发明将靶系统的氢扩散层设计为不同元素比例的多层梯度结构,能够显著提高氢扩散层与基底的结合力,同时也更有助于氢的扩散和迁移,可极大降低膜层剥落、鼓泡的几率,从而延长靶系统的使用寿命。本发明采用多次喷涂且喷枪移动速率、氢气流量逐次降低的方式,可成功在基底上构建形成具有多层梯度结构的氢扩散层。