三自由度精密定位工作台

    公开(公告)号:CN201168876Y

    公开(公告)日:2008-12-24

    申请号:CN200820042480.8

    申请日:2008-01-04

    Abstract: 本实用新型公开了一种利用差动放大原理且用于精密定位及微驱动领域的三自由度精密定位工作台,包括下平台、设于下平台上的微位移放大装置及与微位移放大装置通过球副柔性铰链连接的运动平台,该微位移放大装置包括压电陶瓷驱动器及通过压电陶瓷驱动器驱动的位移放大机构,其中,该位移放大机构由若干驱动杆通过柔性铰链串联及并联连接而成,且由该位移放大机构输出位移。该三自由度精密定位工作台具有高精度的运动输出和快的响应速度,无摩擦、免润滑,且结构紧凑,能在实现精密定位的同时具有较大的行程和运动范围。

    微位移放大装置
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201153129Y

    公开(公告)日:2008-11-19

    申请号:CN200820042483.1

    申请日:2008-01-04

    Abstract: 本实用新型公开了一种用于精密定位及微驱动领域的微位移放大装置,包括基座、设于基座上的压电陶瓷驱动器及通过压电陶瓷驱动器驱动的位移放大机构,其中,该位移放大机构由若干驱动杆通过柔性铰链串联及并联连接而成,且由该位移放大机构输出位移。该微位移放大装置具有较大的位移放大倍数、误差小且结构紧凑。

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