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公开(公告)号：CN118549472B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411017499.7
申请日：2024-07-29
Applicant: 华南农业大学
Abstract: 本发明提供一种高分辨率透射电子显微镜像的像差确定方法及装置，针对已知样本采集HRTEM实验像并重建预设晶态材料后表面的平均出射波函数，通过调节平均出射波函数的像差参数得到中间波函数，利用中间波函数生成预设晶态材料后表面的模拟像，通过多轮迭代调节寻找模拟像与实验像相似符合要求的像差参数，并基于模拟像和实验像中的缺陷信息进一步调节二阶慧差提高像差参数的精度，以最终得到高分辨率透射电子显微镜像的检出像差。本申请针对小区域电镜像求解像差参数，克服了传统方法采用非晶像求解像差过程繁杂且偏差较高的问题，可以大大缩小研究人员手动对比寻找像差参数的时间，节约人力成本和时间成本。
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公开(公告)号：CN118549472A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202411017499.7
申请日：2024-07-29
Applicant: 华南农业大学
Abstract: 本发明提供一种高分辨率透射电子显微镜像的像差确定方法及装置，针对已知样本采集HRTEM实验像并重建预设晶态材料后表面的平均出射波函数，通过调节平均出射波函数的像差参数得到中间波函数，利用中间波函数生成预设晶态材料后表面的模拟像，通过多轮迭代调节寻找模拟像与实验像相似符合要求的像差参数，并基于模拟像和实验像中的缺陷信息进一步调节二阶慧差提高像差参数的精度，以最终得到高分辨率透射电子显微镜像的检出像差。本申请针对小区域电镜像求解像差参数，克服了传统方法采用非晶像求解像差过程繁杂且偏差较高的问题，可以大大缩小研究人员手动对比寻找像差参数的时间，节约人力成本和时间成本。
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