公开(公告)号：CN104962234A

公开(公告)日：2015-10-07

申请号：CN201510241996.X

申请日：2015-05-13

Applicant: 华侨大学

Inventor： 陆静 ,  徐西鹏 ,  李东旭 ,  王亚光 ,  赖孟玲

IPC: C09K3/14

Abstract: 本发明公开了一种掺杂二氧化钛金刚石复合磨粒及其制备方法和应用，该掺杂二氧化钛金刚石复合磨粒包括粒径50nm～10μm的金刚石核心和二氧化钛壳层，该二氧化钛壳层通过恒温水解反应制备且前驱体为硫酸氧钛，同时该二氧化钛壳层上共掺杂有Fe3+和N，N/Ti摩尔比为1％～13％。本发明的掺杂二氧化钛金刚石复合磨粒可以广泛应用在固结、半固结及游离抛光工具的制备，利用该复合磨粒制备的半固结柔性抛光工具，不仅能够明显提高SiC晶圆的加工效率，而且还能获得光滑无损的表面质量。

公开(公告)号：CN104962234B

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：CN201510241996.X

申请日：2015-05-13

Applicant: 华侨大学

Inventor： 陆静 ,  徐西鹏 ,  李东旭 ,  王亚光 ,  赖孟玲

IPC: C09K3/14

Abstract: 本发明公开了一种掺杂二氧化钛金刚石复合磨粒及其制备方法和应用，该掺杂二氧化钛金刚石复合磨粒包括粒径50nm～10μm的金刚石核心和二氧化钛壳层，该二氧化钛壳层通过恒温水解反应制备且前驱体为硫酸氧钛，同时该二氧化钛壳层上共掺杂有Fe3+和N，N/Ti摩尔比为1％～13％。本发明的掺杂二氧化钛金刚石复合磨粒可以广泛应用在固结、半固结及游离抛光工具的制备，利用该复合磨粒制备的半固结柔性抛光工具，不仅能够明显提高SiC晶圆的加工效率，而且还能获得光滑无损的表面质量。