公开(公告)号：CN114406825B

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202210086357.0

申请日：2022-01-25

Applicant: 华侨大学

Inventor： 黄辉 ,  武民 ,  张博楠

IPC: B24B7/22 ,  B24B41/06 ,  B24B7/04 ,  B24B7/06 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明公开一种碳化硅表面化学机械复合加工方法，包括以下步骤：先将磨抛工具和碳化硅分别安装在磨抛设备的机台上，所述磨抛工具包括复合而成的活性金属和磨粒，然后在外力作用下将碳化硅压向磨抛工具的表面，最后使得高速转动的磨抛工具与碳化硅发生相对运动，进而产生高速摩擦并诱导活性金属与碳化硅发生化学反应，再以磨粒与碳化硅间的机械作用去除反应层，从而形成化学‑机械复合循环的加工方式，实现碳化硅的表面研磨与抛光。本发明通过化学反应与机械去除相结合的方式，对碳化硅的去除率高，且能够得到近无损伤的碳化硅表面，实现碳化硅的高效高质去除，为碳化硅的高效精密加工提供了新的思路。

公开(公告)号：CN117260547A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202311374462.5

申请日：2023-10-23

Applicant: 华侨大学

Inventor： 徐西鹏 ,  武民 ,  黄辉 ,  吴跃勤

IPC: B24B53/06 ,  B24B53/08 ,  B24B49/00

Abstract: 本发明公开一种高耐磨工件的磨盘设计方法，涉及高耐磨工件的精密加工领域，包括以下步骤：(1)确定磨削过程的工艺尺寸参数；(2)将磨盘进行区域划分；(3)计算工件上的点相对于磨盘各划分区域的轨迹密度；(4)基于区域的轨迹密度按比例计算不同区域的面积，得到磨盘图形；(5)按照磨盘图形通过机加工或单位面积的热压烧结块排布得到图案化磨盘。本发明根据磨削过程中轨迹密度分布，快速得到了磨盘的图案，具有实现复杂形状磨盘设计的能力。有效提高磨削过程中磨盘磨损的均匀性并提高了工件的面型精度、缩短了磨削时间，提高了加工效率。

公开(公告)号：CN114406825A

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202210086357.0

申请日：2022-01-25

Applicant: 华侨大学

Inventor： 黄辉 ,  武民 ,  张博楠

IPC: B24B7/22 ,  B24B41/06 ,  B24B7/04 ,  B24B7/06 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明公开一种碳化硅表面化学机械复合加工方法，包括以下步骤：先将磨抛工具和碳化硅分别安装在磨抛设备的机台上，所述磨抛工具包括复合而成的活性金属和磨粒，然后在外力作用下将碳化硅压向磨抛工具的表面，最后使得高速转动的磨抛工具与碳化硅发生相对运动，进而产生高速摩擦并诱导活性金属与碳化硅发生化学反应，再以磨粒与碳化硅间的机械作用去除反应层，从而形成化学‑机械复合循环的加工方式，实现碳化硅的表面研磨与抛光。本发明通过化学反应与机械去除相结合的方式，对碳化硅的去除率高，且能够得到近无损伤的碳化硅表面，实现碳化硅的高效高质去除，为碳化硅的高效精密加工提供了新的思路。