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公开(公告)号：CN104881554B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201510331063.X
申请日：2015-06-15
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G06F17/50
摘要： 本发明公开了一种适用于IC装备工件定位运动台的仿真系统及建模方法，该方法包括：获取运动台基础部件的部件模型，将所述部件模型以学科领域进行分类，构建部件级多领域模型库；选用部件级多领域模型库中的部件模型，构建功能模块级模型库；选用所述功能模块级模型库中的模型构建系统级模型；对系统级模型进行检查，检查无误后设定模型参数，以完成运动台仿真系统的建模。该系统包括部件级多领域模型库、功能模块级模型库、系统级模型、模型编译及仿真模块、输出模块。上述部件级多领域模型库、功能模块级模型库和系统级模型均在MWorks统一建模环境基于Modelica建模语言进行。本发明适用性强，建模效率高，可有效解决多领域耦合的问题。
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公开(公告)号：CN104881554A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510331063.X
申请日：2015-06-15
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G06F17/50
摘要： 本发明公开了一种适用于IC装备工件定位运动台的仿真系统及建模方法，该方法包括：获取运动台基础部件的部件模型，将所述部件模型以学科领域进行分类，构建部件级多领域模型库；选用部件级多领域模型库中的部件模型，构建功能模块级模型库；选用所述功能模块级模型库中的模型构建系统级模型；对系统级模型进行检查，检查无误后设定模型参数，以完成运动台仿真系统的建模。该系统包括部件级多领域模型库、功能模块级模型库、系统级模型、模型编译及仿真模块、输出模块。上述部件级多领域模型库、功能模块级模型库和系统级模型均在MWorks统一建模环境基于Modelica建模语言进行。本发明适用性强，建模效率高，可有效解决多领域耦合的问题。
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公开(公告)号：CN105259782B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201510648358.X
申请日：2015-10-09
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G05B17/02
摘要： 本发明公开了一种H型气浮运动平台的仿真方法，首先建立H型气浮运动平台的多刚体模型，包括X1向电机、X2向电机、直梁以及滑块，并设置所述多刚体模型的参数，然后根据多刚体模型中的参数，建立直梁和滑块的有限元模型，对直梁和滑块子系统进行仿真分析，找出满足系统设计要求的X向电机驱动力F、直梁和滑块相对位移P的组合参数范围，最后利用该分析结果，对多刚体模型中的参数进行调整。通过本发明，消除了直梁变形而对系统定位造成的影响，从而使得H型气浮运动平台的仿真分析的精确度提高。
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公开(公告)号：CN105259782A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201510648358.X
申请日：2015-10-09
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G05B17/02
摘要： 本发明公开了一种H型气浮运动平台的仿真方法，首先建立H型气浮运动平台的多刚体模型，包括X1向电机、X2向电机、直梁以及滑块，并设置所述多刚体模型的参数，然后根据多刚体模型中的参数，建立直梁和滑块的有限元模型，对直梁和滑块子系统进行仿真分析，找出满足系统设计要求的X向电机驱动力F、直梁和滑块相对位移P的组合参数范围，最后利用该分析结果，对多刚体模型中的参数进行调整。通过本发明，消除了直梁变形而对系统定位造成的影响，从而使得H型气浮运动平台的仿真分析的精确度提高。
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