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公开(公告)号：CN101982401A
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：CN201010277692.6
申请日：2010-09-10
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种基于碳纳米螺旋微加热器的运动传感器及其制备方法。传感器由制作有碳纳米螺旋微加热器的玻璃衬底或硅衬底和经微加工的玻璃盖板键合而成。碳纳米螺旋、二个金电极以及二氧化硅层构成碳纳米螺旋微加热器；碳纳米螺旋架设于金电极之间；碳纳米螺旋与金电极的接触部位覆盖二氧化硅层；在玻璃盖板的背面开有凹槽；衬底与基底键合，使碳纳米螺旋微加热器与凹槽的位置相对，形成传感器工作室。其制备方法是在衬底上制作碳纳米螺旋微加热器，在玻璃盖板上制作凹槽，再将二者键合即可。本发明克服了传统热传导运动传感器中微加热器的功耗大的缺点，具有良好的集成潜力，在移动式、手持式的相关应用领域具有广泛的应用前景。
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