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公开(公告)号：CN116037550A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211739594.9
申请日：2022-12-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种集检测于一体的清洗装置。该装置包括：二氧化碳高压气瓶、辅热气体高压气瓶、温度和压力控制器、显示屏幕，设置在工作箱内部的CCD相机、气体喷枪、喷枪支架、基座、旋转轴和夹具；二氧化碳高压气瓶和辅热气体高压气瓶中的气体通过管道输至温度和压力控制器中进行温度和压力的调节，并根据不同的待清洗器件生成具有不同三相态二氧化碳组成比例的清洗剂；通过气体喷枪喷出至待清洗器件表面；夹具设置于旋转轴所带动的基座的内圈上，固定待清洗器件，并跟随旋转轴进行旋转；CCD相机与显示屏幕连接，对清洗过程中的待清洗器件进行高清实时成像。该装置具有结构紧凑、集成度高、清洗效果好的有益效果。
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