公开(公告)号：CN115184407B

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202210713895.8

申请日：2022-06-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 龙胡 ,  史铁林 ,  刘佳鑫 ,  廖广兰 ,  胡亚明

IPC: G01N27/00 ,  B81C1/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种利用激光辅助制备晶圆级MEMS气体传感器的方法及其产品，属于微纳传感器领域，方法在微加热器上指定区域涂覆前驱体胶体溶液，形成前驱体薄膜；一个晶圆级MEMS气体传感器上不同微加热器上涂覆的前驱体胶体溶液的成分/成分含量可以不同；对各微加热器上的前驱体薄膜进行激光扫描，扫描过程中激光局部固化前驱体胶体的同时，使金属盐发生反应生成预设形貌和孔隙率的气体敏感材料，不同微加热器上可选用不同激光参数和扫描路线，以在后续对应生成不同的气体敏感材料。本发明实现在同一个晶圆级MEMS气体传感器的不同微加热器上，生成不同形貌和孔隙率的气体敏感材料，实现晶圆级MEMS多功能气体传感器的规模化制备。

公开(公告)号：CN115184407A

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN202210713895.8

申请日：2022-06-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 龙胡 ,  史铁林 ,  刘佳鑫 ,  廖广兰 ,  胡亚明

IPC: G01N27/00 ,  B81C1/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种利用激光辅助制备晶圆级MEMS气体传感器的方法及其产品，属于微纳传感器领域，方法在微加热器上指定区域涂覆前驱体胶体溶液，形成前驱体薄膜；一个晶圆级MEMS气体传感器上不同微加热器上涂覆的前驱体胶体溶液的成分/成分含量可以不同；对各微加热器上的前驱体薄膜进行激光扫描，扫描过程中激光局部固化前驱体胶体的同时，使金属盐发生反应生成预设形貌和孔隙率的气体敏感材料，不同微加热器上可选用不同激光参数和扫描路线，以在后续对应生成不同的气体敏感材料。本发明实现在同一个晶圆级MEMS气体传感器的不同微加热器上，生成不同形貌和孔隙率的气体敏感材料，实现晶圆级MEMS多功能气体传感器的规模化制备。