公开(公告)号：CN115815794B

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202211440884.3

申请日：2022-11-17

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 王海林 ,  朱晓 ,  朱广志 ,  翟昊

IPC: B23K26/064 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明公开了一种基于压电陶瓷弯曲片的可变双焦点激光加工装置，属于激光加工技术领域，通过将一束激光聚焦为沿轴向分布的两个聚焦点，并在光路上设置有压电陶瓷弯曲片，通过改变压电陶瓷弯曲片两端的电压使其发生形变，从而使得与其紧密接触的反射镜发生对应的微形变，来改变反射镜的曲率或倾斜度，进而调整双焦点的之间的相对位置，使其满足加工要求，本发明结构简单，控制方便。另外，除了两个聚焦点之间的相对位置可控，本发明还可以通过旋转1/2波片来改变入射光中第一s偏振光和第一p偏振光的功率比，从而改变第一焦点和第二焦点的功率比，大大提高了加工的质量和效率。

公开(公告)号：CN115815794A

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202211440884.3

申请日：2022-11-17

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 王海林 ,  朱晓 ,  朱广志 ,  翟昊

IPC: B23K26/064 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明公开了一种基于压电陶瓷弯曲片的可变双焦点激光加工装置，属于激光加工技术领域，通过将一束激光聚焦为沿轴向分布的两个聚焦点，并在光路上设置有压电陶瓷弯曲片，通过改变压电陶瓷弯曲片两端的电压使其发生形变，从而使得与其紧密接触的反射镜发生对应的微形变，来改变反射镜的曲率或倾斜度，进而调整双焦点的之间的相对位置，使其满足加工要求，本发明结构简单，控制方便。另外，除了两个聚焦点之间的相对位置可控，本发明还可以通过旋转1/2波片来改变入射光中第一s偏振光和第一p偏振光的功率比，从而改变第一焦点和第二焦点的功率比，大大提高了加工的质量和效率。