公开(公告)号：CN1970211A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200610125373.7

申请日：2006-12-08

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陆培祥 ,  王新林 ,  戴能利 ,  廖常锐 ,  常彦晓 ,  王英 ,  杨光 ,  李玉华

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/42 ,  B23K26/06

Abstract: 本发明提供一种不锈钢悬臂梁的飞秒激光加工方法，使用软件设计出悬臂梁的形状与尺寸；将不锈钢板材置于工作台上，依照设计的尺寸，利用飞秒激光对厚度小于1mm的不锈钢板材进行扫描刻蚀，直至悬臂梁与不锈钢板材基体完全脱离，飞秒激光的能量密度为50～300J/cm2，脉冲宽度45～100fs，加工扫描速度为50～200μm/s。本发明可进行微米级尺寸的加工，加工精度可以达小于1μm；加工过程中可以很好地避免氧化现象的产生，无溅污、重铸残渣现象，无热影响区。

公开(公告)号：CN100475433C

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN200610125079.6

申请日：2006-11-20

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陆培祥 ,  王新林 ,  廖常锐 ,  戴能利 ,  杨光 ,  李玉华

IPC: B23P23/00 ,  B23H7/02 ,  B23K26/38 ,  B23K26/42 ,  B23K26/00

Abstract: 本发明提供了一种飞秒激光对非晶合金的无晶化微细加工方法，该方法利用飞秒激光对非晶合金进行打孔、刻线、切割，打孔时飞秒激光的脉冲能量密度为50～100J/cm2，脉冲宽度45～100fs；刻线时飞秒激光的脉冲能量密度为3～15J/cm2、脉冲宽度45～100fs、扫描速度为100～200μm/s；切割时飞秒激光的脉冲能量密度为75～110J/cm2、脉冲宽度45～100fs、扫描速度为100～200μm/s。本发明的加工精度可以达亚微米级，在刻线区域无晶化现象发生。

公开(公告)号：CN100446909C

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200610125373.7

申请日：2006-12-08

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陆培祥 ,  王新林 ,  戴能利 ,  廖常锐 ,  常彦晓 ,  王英 ,  杨光 ,  李玉华

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/42 ,  B23K26/06

Abstract: 本发明提供一种不锈钢悬臂梁的飞秒激光加工方法，使用软件设计出悬臂梁的形状与尺寸；将不锈钢板材置于工作台上，依照设计的尺寸，利用飞秒激光对厚度小于1mm的不锈钢板材进行扫描刻蚀，直至悬臂梁与不锈钢板材基体完全脱离，飞秒激光的能量密度为50～300J/cm2，脉冲宽度45～100fs，加工扫描速度为50～200μm/s。本发明可进行微米级尺寸的加工，加工精度可以达小于1μm；加工过程中可以很好地避免氧化现象的产生，无溅污、重铸残渣现象，无热影响区。

公开(公告)号：CN1966203A

公开(公告)日：2007-05-23

申请号：CN200610125079.6

申请日：2006-11-20

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陆培祥 ,  王新林 ,  廖常锐 ,  戴能利 ,  杨光 ,  李玉华

IPC: B23P23/00 ,  B23H7/02 ,  B23K26/38 ,  B23K26/42 ,  B23K26/00

Abstract: 本发明提供了一种飞秒激光对非晶合金的无晶化微细加工方法，该方法利用飞秒激光对非晶合金进行打孔、刻线、切割，打孔时飞秒激光的脉冲能量密度为50～100J/cm2，脉冲宽度45～100fs；刻线时飞秒激光的脉冲能量密度为3～15J/cm2、脉冲宽度45～100fs、扫描速度为100～200μm/s；切割时飞秒激光的脉冲能量密度为75～110J/cm2、脉冲宽度45～100fs、扫描速度为100～200μm/s。本发明的加工精度可以达亚微米级，在刻线区域无晶化现象发生。