公开(公告)号：CN100573036C

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：CN200810047420.X

申请日：2008-04-20

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 骆清铭 ,  王建岗 ,  曾绍群 ,  肖青

IPC: G01B11/06 ,  G01N21/45

Abstract: 本发明公开了一种薄膜厚度和折射率的光学测量方法。将宽带光源出射的光通过干涉结构，产生干涉信号，再探测干涉信号的光谱信息，并将光谱信息进行傅立叶变换，即可得到产生干涉信号的二光路的光程差信息。在折射率已知的情况下，以同种方式在一个干涉臂中放置样品后再测一次，比较这两次光程差信息即可薄膜厚度。若折射率未知，需将薄膜旋转一个角度，进行第三次测量来计算出获得薄膜的折射率和厚度。本发明采用光学方法，对样品是无损的，分辨率为微米量级，测量范围可达到毫米量级。另外样品不要求严格贴附在样品台上，同时信息处理方法简单，对于透明或半透明薄膜可以方便实时地得到其厚度和折射率信息。

公开(公告)号：CN101261116A

公开(公告)日：2008-09-10

申请号：CN200810047420.X

申请日：2008-04-20

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 骆清铭 ,  王建岗 ,  曾绍群 ,  肖青

IPC: G01B11/06 ,  G01N21/45

Abstract: 本发明公开了一种薄膜厚度和折射率的光学测量方法及其装置。将宽带光源出射的光通过干涉结构，产生干涉信号，再探测干涉信号的光谱信息，并将光谱信息进行傅立叶变换，即可得到产生干涉信号的二光路的光程差信息。在折射率已知的情况下，以同种方式在一个干涉臂中放置样品后再测一次，比较这两次光程差信息即可薄膜厚度。若折射率未知，需将薄膜旋转一个角度，进行第三次测量来计算出获得薄膜的折射率和厚度。本发明采用光学方法，对样品是无损的，分辨率为微米量级，测量范围可达到毫米量级。另外样品不要求严格贴附在样品台上，同时信息处理方法简单，对于透明或半透明薄膜可以方便实时地得到其厚度和折射率信息。