公开(公告)号：CN113358595B

公开(公告)日：2023-04-11

申请号：CN202110604520.3

申请日：2021-05-31

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 刘欢 ,  易飞 ,  李华曜 ,  严棋 ,  梅颖颖 ,  高亮 ,  张建兵 ,  唐江

IPC: G01N21/3504 ,  G01N21/359 ,  G01N21/27 ,  H01L27/144

Abstract: 本发明公开一种量子点近红外气体传感器以及制备方法，属于气体传感器技术领域，将集成光学天线的量子点光电探测器、气室、光源、信号处理电路进行片上集成，该气体传感器可将检测到的气体量转换成可用输出电信号，最后读出气体浓度信息。本发明中，红外气体传感器的核心部件为量子点光电探测器，与光学天线直接集成实现窄带滤光并且提高其灵敏度，取代分立滤光片元件，减小红外气体传感器体积，并提出适用于光子型探测器的后端信号检测与放大电路，结合气室、光源制备成NDIR气体传感器，针对CH4和NH3气体实现小体积、高灵敏、低成本的快速检测。本发明还提供了其制备方法，其制备方法简便可行。

公开(公告)号：CN113358595A

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN202110604520.3

申请日：2021-05-31

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 刘欢 ,  易飞 ,  李华曜 ,  严棋 ,  梅颖颖 ,  高亮 ,  张建兵 ,  唐江

IPC: G01N21/3504 ,  G01N21/359 ,  G01N21/27 ,  H01L27/144

Abstract: 本发明公开一种量子点近红外气体传感器以及制备方法，属于气体传感器技术领域，将集成光学天线的量子点光电探测器、气室、光源、信号处理电路进行片上集成，该气体传感器可将检测到的气体量转换成可用输出电信号，最后读出气体浓度信息。本发明中，红外气体传感器的核心部件为量子点光电探测器，与光学天线直接集成实现窄带滤光并且提高其灵敏度，取代分立滤光片元件，减小红外气体传感器体积，并提出适用于光子型探测器的后端信号检测与放大电路，结合气室、光源制备成NDIR气体传感器，针对CH4和NH3气体实现小体积、高灵敏、低成本的快速检测。本发明还提供了其制备方法，其制备方法简便可行。