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公开(公告)号：CN106001827B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201610414635.5
申请日：2016-06-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于回流焊的光纤光栅磁传感器的制备方法，该方法包括以下步骤：1)选取长方体形状的硅片并进行超声清洗；2)用磁控溅射的方法在硅片上溅射一层一定厚度的磁致伸缩薄膜；3)选取可以在高温条件下使用的光纤光栅并进行超声清洗；4)用磁控溅射的方法在光纤光栅上溅射一层一定厚度的金属薄膜；5)将镀了金属薄膜的光纤光栅固定在磁致伸缩薄膜上；6)采用回流焊的方法，将镀了金属薄膜的光纤光栅焊接在磁致伸缩薄膜上，形成可靠的焊点，从而在光纤光栅与磁致伸缩薄膜之间建立长期的机械连接。本发明方法工艺简单，操作方便，制造的传感器性能良好。
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公开(公告)号：CN106001827A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610414635.5
申请日：2016-06-14
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: B23K1/206 , B23K1/0008 , B23K2101/36 , G01L1/242
Abstract: 本发明公开了一种基于回流焊的光纤光栅磁传感器的制备方法，该方法包括以下步骤：1)选取长方体形状的硅片并进行超声清洗；2)用磁控溅射的方法在硅片上溅射一层一定厚度的磁致伸缩薄膜；3)选取可以在高温条件下使用的光纤光栅并进行超声清洗；4)用磁控溅射的方法在光纤光栅上溅射一层一定厚度的金属薄膜；5)将镀了金属薄膜的光纤光栅固定在磁致伸缩薄膜上；6)采用回流焊的方法，将镀了金属薄膜的光纤光栅焊接在磁致伸缩薄膜上，形成可靠的焊点，从而在光纤光栅与磁致伸缩薄膜之间建立长期的机械连接。本发明方法工艺简单，操作方便，制造的传感器性能良好。
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公开(公告)号：CN106093525A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610472240.0
申请日：2016-06-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于微位移测量的电流传感器及其制作方法，包括磁致伸缩反射面和光纤。其中制作方法包括以下步骤：选取长方形的金属玻璃(metglass)并进行清洗；在metglass上、下表面各溅射一层一定厚度的磁致伸缩薄膜；在metglass下表面溅射一层一定厚度的高反膜；在metglass下表面两端用环氧树脂各粘贴一个非磁性金属块；在两个非磁性金属块的另一端用环氧树脂粘贴一块正中带有通孔的非磁性金属板；将光纤通过一个非磁性金属管，再将它们通过非磁性金属板的孔，使光纤端面与高反膜之间保持合适的距离，这样在光纤端面与高反膜之间就形成了一个光纤法布里－珀罗干涉仪。本发明方法工艺简单，操作方便，制造的传感器灵敏度较高。
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公开(公告)号：CN106093525B
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201610472240.0
申请日：2016-06-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于微位移测量的电流传感器及其制作方法，包括磁致伸缩反射面和光纤。其中制作方法包括以下步骤：选取长方形的金属玻璃(metglass)并进行清洗；在metglass上、下表面各溅射一层一定厚度的磁致伸缩薄膜；在metglass下表面溅射一层一定厚度的高反膜；在metglass下表面两端用环氧树脂各粘贴一个非磁性金属块；在两个非磁性金属块的另一端用环氧树脂粘贴一块正中带有通孔的非磁性金属板；将光纤通过一个非磁性金属管，再将它们通过非磁性金属板的孔，使光纤端面与高反膜之间保持合适的距离，这样在光纤端面与高反膜之间就形成了一个光纤法布里－珀罗干涉仪。本发明方法工艺简单，操作方便，制造的传感器灵敏度较高。
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