多通道电容位移传感器幅相不一致性原位校正方法及装置

    公开(公告)号:CN117470081A

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202311500847.1

    申请日:2023-11-08

    Inventor: 马洪 张月荣 张华

    Abstract: 本发明提供了一种多通道电容位移传感器幅相不一致性原位校正方法及装置,属于传感器参数校正领域,方法包括:在校准模式下,将校准输入信号经过校准电容网络模块输入至多通道电容位移传感器,测量各校准频点处的输出复电压信号;选取任一通道为参考通道,将各校准频点处每通道的三导纳参数结合各校准频点处的输出复电压信号,计算各通道相对参考通道的幅相校正系数;在工作模式下,将载波输入信号通过多自由度敏感探头输入至多通道电容位移传感器,测量实际工作时的输出复电压信号;将实际工作时的输出复电压信号乘以校正系数,获取多路传感接收通道输出信号。本发明极大提高了多自由度位移传感器间的通道一致性。

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