公开(公告)号：CN103579415B

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201310499193.5

申请日：2013-10-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 高义华 ,  张翔晖 ,  韩祥云 ,  苏俊 ,  张旗

IPC: H01L31/18 ,  B82Y40/00

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种基于氧化锌纳米线阵列的紫外光电探测器，属于光电子器件领域。本发明利用化学气相沉积技术，通过调节双温区管式炉装中真空压力等实验参数，在氮化镓衬底上实现氧化锌纳米线阵列的均匀可控生长，然后利用透明导电玻璃直接贴压法，得到对365nm紫外光具有毫秒量级的快速响应和恢复时间的紫外光电探测器。本方法工艺简单，材料成本低廉，在快速紫外光电传感器和短波长光电器件领域有广泛的运用前景。

公开(公告)号：CN103579415A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310499193.5

申请日：2013-10-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 高义华 ,  张翔晖 ,  韩祥云 ,  苏俊 ,  张旗

IPC: H01L31/18 ,  B82Y40/00

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/1856 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种基于氧化锌纳米线阵列的紫外光电探测器，属于光电子器件领域。本发明利用化学气相沉积技术，通过调节双温区管式炉装中真空压力等实验参数，在氮化镓衬底上实现氧化锌纳米线阵列的均匀可控生长，然后利用透明导电玻璃直接贴压法，得到对365nm紫外光具有毫秒量级的快速响应和恢复时间的紫外光电探测器。本方法工艺简单，材料成本低廉，在快速紫外光电传感器和短波长光电器件领域有广泛的运用前景。