-
公开(公告)号：CN101817256B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN201010160465.5
申请日：2010-04-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种基于双碳纳米管微气泡发生器的喷印头及其制备方法。喷印头包括碳纳米管微气泡发生器和微流体结构，微流体结构包括主通道、毛细通道、微腔室和喷嘴。碳纳米管微气泡发生器和微流体结构分别制作。采用硅表面加工和体硅加工工艺制作喷印头结构，前者主要包括光刻制作图形，磁控溅射工艺制作掩膜，湿法腐蚀掩膜等；后者主要采用湿法腐蚀和干法刻蚀相结合的方法来制作微流体结构。用紫外固化键合方法将双微气泡发生器和微流体结构接合形成完整的喷印头结构。本发明具有很高的空间分辨率、很高的频率响应和很低的功耗。它消除了次液滴问题，有效提高了喷印图形的质量。并具有良好的高密度集成的潜力，在先进制造领域具有广泛的应用前景。
-
公开(公告)号：CN101403722A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810197518.3
申请日：2008-10-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种微传感器及其制备方法。该微传感器的结构为：衬底为表面带氧化层的硅片，在衬底上设置有二个碳MEMS电极，在二个碳MEMS电极之间的距离为1～10μm，碳MEMS电极的厚度为1～100μm；碳纳米管架设于二个碳MEMS电极之间，碳纳米管的直径为10～30nm。其制备方法是在衬底上利用光刻胶经热处理碳化制作碳MEMS电极，在碳MEMS电极利用介电电泳和退火处理将碳纳米管定位在碳MEMS电极之间。本发明克服了传统电极的传感器受衬底影响大、不能探测空间位置的缺点，并具有良好的高密度集成的潜力，在生物化学医药环境检测和监控特别是微流体测量中具有广泛的应用前景。
-
公开(公告)号：CN101817256A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN201010160465.5
申请日：2010-04-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种基于双碳纳米管微气泡发生器的喷印头及其制备方法。喷印头包括碳纳米管微气泡发生器和微流体结构，微流体结构包括主通道、毛细通道、微腔室和喷嘴。碳纳米管微气泡发生器和微流体结构分别制作。采用硅表面加工和体硅加工工艺制作喷印头结构，前者主要包括光刻制作图形，磁控溅射工艺制作掩膜，湿法腐蚀掩膜等；后者主要采用湿法腐蚀和干法刻蚀相结合的方法来制作微流体结构。用紫外固化键合方法将双微气泡发生器和微流体结构接合形成完整的喷印头结构。本发明具有很高的空间分辨率、很高的频率响应和很低的功耗。它消除了次液滴问题，有效提高了喷印图形的质量。并具有良好的高密度集成的潜力，在先进制造领域具有广泛的应用前景。
-
-
Search Results
3
records
(took 0.014 seconds)
