公开(公告)号：CN106502074A

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201610983732.6

申请日：2016-11-08

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 廖广兰 ,  洪源 ,  史铁林 ,  王西彬 ,  李易聪 ,  刘咪 ,  潜世界

IPC: G03H1/00

CPC classification number: G03H1/0005 ,  G03H2001/0033

Abstract: 本发明公开了一种用于像面数字全息显微测量的自动聚焦方法，该方法包括如下步骤：沿物镜主光轴方向移动待测样品并记录一系列等间隔的全息图像；通过傅里叶变换、角谱滤波、逆傅里叶变换等操作获得每张全息图像所对应的物光强度图像；计算每张强度图像的自相关算子；使用多项式拟合自相关算子相对于全息图记录位置的数据变化趋势，拟合曲线的最高点即自相关算子最大值，其对应的图像位置即聚焦平面位置；通过程序控制电动升降台，将待测样品表面移动到聚焦平面的位置，获得聚焦的像面全息图像。本发明一种用于像面数字全息显微测量的自动聚焦方法，实现了自动像面全息显微检测，获得精度更高，实时性更好的表面形貌测量方法。

公开(公告)号：CN106502074B

公开(公告)日：2019-04-12

申请号：CN201610983732.6

申请日：2016-11-08

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 廖广兰 ,  洪源 ,  史铁林 ,  王西彬 ,  李易聪 ,  刘咪 ,  潜世界

IPC: G03H1/00

Abstract: 本发明公开了一种用于像面数字全息显微测量的自动聚焦方法，该方法包括如下步骤：沿物镜主光轴方向移动待测样品并记录一系列等间隔的全息图像；通过傅里叶变换、角谱滤波、逆傅里叶变换等操作获得每张全息图像所对应的物光强度图像；计算每张强度图像的自相关算子；使用多项式拟合自相关算子相对于全息图记录位置的数据变化趋势，拟合曲线的最高点即自相关算子最大值，其对应的图像位置即聚焦平面位置；通过程序控制电动升降台，将待测样品表面移动到聚焦平面的位置，获得聚焦的像面全息图像。本发明一种用于像面数字全息显微测量的自动聚焦方法，实现了自动像面全息显微检测，获得精度更高，实时性更好的表面形貌测量方法。