公开(公告)号：CN102809584A

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN201210261847.6

申请日：2012-07-26

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 周东祥 ,  刘欢 ,  龚树萍 ,  傅邱云 ,  胡云香 ,  郑志平 ,  赵俊 ,  万久晓

IPC: G01N27/00

Abstract: 本发明公开了一种多孔氧化锡膜型室温气敏元件及其制备方法，该方法包括下述步骤：S1配制悬浮液：以丙酮或乙酰丙酮为溶剂将氧化锡纳米粉体配制成悬浮液，在悬浮液中加入碘溶液搅拌后进行超声分散；S2电泳沉积成膜：对超声分散后的悬浮液进行电泳沉积处理获得疏松多孔的纳米晶氧化锡膜；S3热处理：对氧化锡膜进行热处理；S4制作表面电极：在经热处理后的氧化锡膜表面制作电极获得气敏元件。本发明提供的方法利用电泳原理在直流电压下将SnO2纳米粉体均匀沉积在ITO导电玻璃上，形成稳定的疏松多孔的纳米晶SnO2膜；工艺简单、操作方便且重复性好，适合于大规模生产，弥补了常规工艺难以制备疏松多孔膜的不足，可以在室温下实现低浓度气体的检测。

公开(公告)号：CN102788819A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201210249235.5

申请日：2012-07-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 周东祥 ,  刘欢 ,  龚树萍 ,  傅邱云 ,  胡云香 ,  郑志平 ,  赵俊 ,  万久晓

IPC: G01N27/00 ,  C25D11/34

Abstract: 本发明公开了一种氧化锡室温气敏元件及其制备方法；该方法包括S 1：在洁净的氧化铝衬底上沉积一层厚度为400~1200纳米的金属锡薄膜，并对金属锡薄膜的表面进行抛光；S2：以沉积有金属锡薄膜的氧化铝衬底作为阳极，钛片为阴极，将阳极和阴极置于电解质溶液中，在阴阳电极两端施加5~12伏直流电压进行氧化后形成锡的氧化物薄膜，并用去离子水清洗所述锡的氧化物薄膜表面后自然干燥；S3：将锡的氧化物薄膜进行热处理后获得氧化锡薄膜；S4：将银浆料涂在氧化锡薄膜上并烧渗后获得气敏元件。本发明在薄膜烧结前采用阳极氧化形成了多孔的结构，利于气体的扩散和吸附，提高了材料与气体的接触面积，改善了气敏元件的灵敏度和响应时间。