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实用新型
一种精密自动定位装置失效

公开(公告)号：CN2110207U

公开(公告)日：1992-07-15

申请号：CN91223185.8

申请日：1991-08-13

申请人： 华中理工大学

发明人： 杨曙光 , 徐振高 , 陈涛 , 陈家璧 , 李柱

IPC分类号： G01B21/04

摘要： 这种非接触式的精密自动定位装置特别适用于调整机构或位移机构实现精密自动定位。它由非接触式光学定位传感头、传感头运动自动定位控制器和传感头运动的驱动及执行机构三部分组成，进行非接触式定位。其中，光学定位传感头由激光器、各种透镜、反射镜、分光镜，显微物镜、柱面镜和四象限光电接收器等组成。该装置可避免定位基准面的磨损或变形，定位控制用自动化程度高，定位稳定可靠，精度高，定位位置信号检测重复精度为0.03μm。