公开(公告)号：CN105241584A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510659878.0

申请日：2015-10-14

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 王文靖 ,  郭群英 ,  黄斌 ,  陈博 ,  陈璞

IPC: G01L1/14

Abstract: 本发明公开一种电容式压力传感器，包括固定电极与移动电极，移动电极包括上移动电极与下移动电极，上移动电极呈片状且底面设有环形凹槽，下移动电极由固支框、固支梁与移动质量块相键合构成，固支梁水平设于固支框内顶部，移动质量块设于固支梁底面中心；上移动电极感受到外部压力后，将压力传递给固支梁，使移动质量块朝向固定电极移动，移动质量块与固定电极间距的变化带来电容的变化，实现压力的测量，由于移动质量块的移动为整体平行移动，所以电容的变化具有良好的线性度，不会出现传统结构中移动电极不规则变形的情况，具有较高的线性度。

公开(公告)号：CN106153241A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201610715473.9

申请日：2016-08-25

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 王文靖 ,  郭群英 ,  黄斌 ,  陈博 ,  陈璞

IPC: G01L9/12 ,  G01L1/14

CPC classification number: G01L9/12 ,  G01L1/142

Abstract: 本发明公开一种MEMS电容式压力传感器，包括衬底与压力应变膜片，压力应变膜片通过锚体固定于衬底上方；压力应变膜片底面中心键合有质量块，质量块四周沿X轴与Y轴分别设有可动梳齿电极；衬底顶部四周沿X轴与Y轴分别设有固定梳齿电极，可动梳齿电极与固定梳齿电极一一对应形成配合；每一对相互对应配合的可动梳齿电极与固定梳齿电极在Z轴方向形成零位差；压力应变膜片感应的压力传递给质量块，质量块带动可动梳齿电极沿Z轴移动，可动梳齿电极与固定梳齿电极正对面积的变化带来电容的变化，实现压力的测量；梳齿电极之间的相对移动是完全呈整体性的平行移动，正对面积的变化完全是线性的，使得电容的变化具有良好的线性度，提高器件性能。