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公开(公告)号：CN118117445A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202410153710.1
申请日：2024-02-02
Applicant: 北京量子信息科学研究院 , 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本申请公开一种基于片上色散调控量子级联激光器光频梳及其制备方法，包括：衬底上依序生长下波导层、无源波导层、低掺波导层、高掺波导层、下限制层、有源区、上限制层、上波导层、欧姆接触层；在欧姆接触层表面生长SiO2层，并在表面形成双沟条形脊结构，腐蚀深度至下波导层；在双沟内填满半绝缘InP:Fe，去除残余SiO2层；欧姆接触层表面生长绝缘层；绝缘层表面制备正面金属电极窗口；绝缘层表面和正面金属电极窗口内，生长正面金属电极层；加厚正面金属电极层；将衬底减薄抛光，生长背面金属电极层，退火处理、封装，得量子级联激光器光频梳。解决了中红外量子级联激光器色散问题，良品率高，成本低廉，工艺简单，满足大规模应用制造需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114949618B
公开(公告)日：2023-02-21
申请号：CN202210554954.1
申请日：2022-05-19
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于神经调控的光电集成模块，包括：人造颅骨单元，用于为神经监测提供光学窗口，人造颅骨单元包括柔性透明薄膜制成的颅骨盖；柔性光学刺激阵列单元，柔性光学刺激阵列单元贴附于人造颅骨内侧，柔性光学刺激阵列单元包括若干光刺激点和记录电极；其中，光刺激点的设置位点根据待测动物的脑神经元分布位置确定，光刺激点用于对样品的神经元进行光刺激干扰样品的神经元活动；记录电极用于接收样品的神经元受到刺激产生的神经反馈信号；驱动控制单元，集成于柔性光刺激阵列单元上，穿过人造颅骨单元并固定于人造颅骨单元外侧，用于对柔性光刺激阵列单元进行选择驱动，并为柔性光刺激阵列单元提供能量以及神经反馈信号的传输。
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公开(公告)号：CN115105022B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202210707834.0
申请日：2022-06-21
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: A61B5/00 , H10H20/84 , H10H20/841 , H10H20/01
Abstract: 本发明公开了一种生物探针及其制备方法，该生物探针包括衬底；键合金属层，覆盖于衬底上，用于键合衬底和第一金属反射层；第一金属反射层，覆盖于键合金属层上，用于作为底部反射镜，使光从正面射出；外延层，设置于第一金属反射层上，用于形成发光区；第二金属反射层，覆盖第一金属反射层以及外延层的边缘，用于限定探针的有效区域和第一电极区域，以及限制外延层侧壁，使光从外延层正面射出；电极层，形成于有效区域内，覆盖外延层的边缘并与外延层接触；光学调控层，通过覆盖电极层来限定电极层的第二电极区域，通过覆盖外延层形成光子晶体；其中，光学调控层和第二金属反射层包括由不同介电系数材料周期排列形成的层状结构。
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公开(公告)号：CN115224168A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210864222.2
申请日：2022-07-20
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01L33/00 , H01L33/46 , H01L25/075 , A61N5/06
Abstract: 本发明公开了一种基于多色谐振腔发光二极管的生物探针的制备方法，包括：在衬底上键合多个发光波长不同的单色谐振腔发光二极管，形成生物探针前驱体，键合每个单色谐振腔发光二极管包括：在衬底上形成第一键合金属层；在蓝宝石外延片上依次形成第一反射层、第二键合金属层；将蓝宝石外延片倒装，并键合第一键合金属层和第二键合金属层，形成第三键合金属层；刻蚀倒装后的蓝宝石外延片，得到外延层；在外延层上形成绝缘层；在绝缘层上形成N电极和P电极，适用于为外延层施加电压以产生激光；在绝缘层上形成第二反射层，其与第一反射层构成控制激光出光角度的谐振腔；将生物探针前驱体的尖端削尖，得到生物探针；在生物探针的表面形成生物封装层。
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公开(公告)号：CN115105022A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210707834.0
申请日：2022-06-21
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种生物探针及其制备方法，该生物探针包括衬底；键合金属层，覆盖于衬底上，用于键合衬底和第一金属反射层；第一金属反射层，覆盖于键合金属层上，用于作为底部反射镜，使光从正面射出；外延层，设置于第一金属反射层上，用于形成发光区；第二金属反射层，覆盖第一金属反射层以及外延层的边缘，用于限定探针的有效区域和第一电极区域，以及限制外延层侧壁，使光从外延层正面射出；电极层，形成于有效区域内，覆盖外延层的边缘并与外延层接触；光学调控层，通过覆盖电极层来限定电极层的第二电极区域，通过覆盖外延层形成光子晶体；其中，光学调控层和第二金属反射层包括由不同介电系数材料周期排列形成的层状结构。
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公开(公告)号：CN114949618A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210554954.1
申请日：2022-05-19
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于神经调控的光电集成模块，包括：人造颅骨单元，用于为神经监测提供光学窗口，人造颅骨单元包括柔性透明薄膜制成的颅骨盖；柔性光学刺激阵列单元，柔性光学刺激阵列单元贴附于人造颅骨内侧，柔性光学刺激阵列单元包括若干光刺激点和记录电极；其中，光刺激点的设置位点根据待测动物的脑神经元分布位置确定，光刺激点用于对样品的神经元进行光刺激干扰样品的神经元活动；记录电极用于接收样品的神经元受到刺激产生的神经反馈信号；驱动控制单元，集成于柔性光刺激阵列单元上，穿过人造颅骨单元并固定于人造颅骨单元外侧，用于对柔性光刺激阵列单元进行选择驱动，并为柔性光刺激阵列单元提供能量以及神经反馈信号的传输。
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