雪崩光电探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119364880B

    公开(公告)日:2025-04-01

    申请号:CN202411896873.5

    申请日:2024-12-23

    Abstract: 本申请实施例提供一种雪崩光电探测器及其制备方法。雪崩光电探测器包括雪崩光电二极管和提取结构,雪崩光电二极管包括依次设置的第一接触层、电荷层、光吸收层和第二接触层;第一接触层、提取结构具有第一掺杂类型,电荷层和光吸收层具有第二掺杂类型,第一掺杂类型与第二掺杂类型不同,第一接触层、电荷层、光吸收层和第二接触层共同形成第一电场;提取结构位于雪崩光电二极管沿第二方向的外侧,提取结构和光吸收层共同形成第二电场,第一方向与第二方向相交;第一电场与第二电场不接触。通过在原有的雪崩光电探测器的电场区外侧引入提取结构,提取结构可以吸引外侧的载流子,减少载流子扩散进入电场区以引入额外的扩散电流,从而降低器件噪声。

    雪崩光电探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119364880A

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN202411896873.5

    申请日:2024-12-23

    Abstract: 本申请实施例提供一种雪崩光电探测器及其制备方法。雪崩光电探测器包括雪崩光电二极管和提取结构,雪崩光电二极管包括依次设置的第一接触层、电荷层、光吸收层和第二接触层;第一接触层、提取结构具有第一掺杂类型,电荷层和光吸收层具有第二掺杂类型,第一掺杂类型与第二掺杂类型不同,第一接触层、电荷层、光吸收层和第二接触层共同形成第一电场;提取结构位于雪崩光电二极管沿第二方向的外侧,提取结构和光吸收层共同形成第二电场,第一方向与第二方向相交;第一电场与第二电场不接触。通过在原有的雪崩光电探测器的电场区外侧引入提取结构,提取结构可以吸引外侧的载流子,减少载流子扩散进入电场区以引入额外的扩散电流,从而降低器件噪声。

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