公开(公告)号：CN113838942B

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202110893871.0

申请日：2021-08-04

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 刘巧莉 ,  张梦斐 ,  胡安琪 ,  郭霞

IPC: H01L31/0232

Abstract: 本申请实施例提供一种超低噪声光电探测器。超低噪声光电探测器包括探测器本体和超表面微纳结构，所述超表面微纳结构与所述探测器本体的光敏面耦合，用于将目标入射光的大光斑尺寸变换为与所述探测器本体的光敏面相匹配的小光斑尺寸。本申请实施例提供的方案，通过超表面微纳结构实现目标入射光尺寸的缩小，从而减小了探测器中的电场体积，因此，在保证入射光通量的前提下，可以大幅减小噪声。由于超表面微纳结构的尺寸小、重量轻，可以非常方便地实现与其他半导体光电子器件的集成。

公开(公告)号：CN113838942A

公开(公告)日：2021-12-24

申请号：CN202110893871.0

申请日：2021-08-04

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 刘巧莉 ,  张梦斐 ,  胡安琪 ,  郭霞

IPC: H01L31/0232

Abstract: 本申请实施例提供一种超低噪声光电探测器。超低噪声光电探测器包括探测器本体和超表面微纳结构，所述超表面微纳结构与所述探测器本体的光敏面耦合，用于将目标入射光的大光斑尺寸变换为与所述探测器本体的光敏面相匹配的小光斑尺寸。本申请实施例提供的方案，通过超表面微纳结构实现目标入射光尺寸的缩小，从而减小了探测器中的电场体积，因此，在保证入射光通量的前提下，可以大幅减小噪声。由于超表面微纳结构的尺寸小、重量轻，可以非常方便地实现与其他半导体光电子器件的集成。