一种电子束偏转扫描精度自动标定装置

    公开(公告)号:CN117600636A

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202311482401.0

    申请日:2023-11-08

    Abstract: 本发明提出一种电子束偏转扫描精度自动标定装置,通过设置专门的电子束流采集装置、偏转扫描和同步高速数据采集电路,规划自动标定扫描路径,结合专门设计的偏转扫描精度标定软件,实现了大角度电子束偏转扫描精度的自动标定,大大提高了标定的自动化程度和效率;采用逐点扫描的方式按照顺时针正方形旋转的自动标定轨迹及电子束振荡搜寻穿过束流极大值的路径规划方法,可以确保当前标定点能够被找到且具有足够高的标定精度,不低于0.1d;通过81个标定孔的束流均采用81个独立的法拉第筒来收集,可以确保穿过上极板和上极板绝缘板后的电子束及电子束在法拉第筒金属壁上轰击产生的二次电子都被法拉第筒完全收集,从而提高标定精度。

    一种电子束高速偏转、动态聚焦和消像散同步调节装置和方法

    公开(公告)号:CN117594403A

    公开(公告)日:2024-02-23

    申请号:CN202311482409.7

    申请日:2023-11-08

    Abstract: 本发明提出一种电子束高速偏转、动态聚焦和消像散同步调节装置和方法,在实现电子束大角度偏转的同时,通过动态聚焦和动态消像散同步调节,使电子束的焦点保持始终保持在工件表面,并具有良好的束斑形貌,实现了束流品质优化。基于逐点扫描方式,采用标定和线性离散的方法获取各点的偏转扫描线圈驱动电流值、动态聚焦线圈驱动电流值,以及消像散线圈驱动电流值,方法简单有效,适合非线性电磁场作用下电子束的偏转距离标定,并且通过增加标定孔数量,可以进一步提高精度;通过标定和线性离散方法建立各扫描点的五维同步调节模型后,无需在线计算,大大节约了计算资源和时间,减少了扫描数据的解析时间,提高了偏转扫描系统的响应时间和扫描效率。

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