一种大口径无孔光学元件的镀膜装置及方法

    公开(公告)号:CN115852324A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202211338463.X

    申请日:2022-10-28

    Abstract: 本发明公开了一种大口径无孔光学元件的镀膜装置,包括主动轴、从动轴、齿轮组、磁控溅射源和修正板;主动轴的自转带动从动轴的自转及绕主动轴轴线的公转;光学元件固定安装于第二齿轮上方,光学元件与从动轴同步运动;磁控溅射源设于光学元件上方且位置固定,修正板上设有开口,磁控溅射源通过修正板对光学元件上表面进行镀膜。本发明还公开了一种大口径无孔光学元件的镀膜方法,通过设置修正系数向量确定修正板中各区域中开口的尺寸,再根据镀膜面上膜层各点的厚度值绘制膜厚分布曲线,根据膜厚分布曲线不断调整修正系数向量后,利用修正板对光学元件进行镀膜。本发明实现了对中心无孔光学元件的镀膜及膜厚均匀性的调整。

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