一种电流直接驱动磁记录介质薄膜的原子有序的方法

    公开(公告)号:CN101923865A

    公开(公告)日:2010-12-22

    申请号:CN201010216961.8

    申请日:2010-06-23

    Abstract: 一种电流直接驱动磁记录介质薄膜的原子有序的方法,属于高密度磁记录介质材料技术领域。本发明利用磁控溅射方法,在玻璃基片上依次沉积铁铂FePt原子和钽Ta原子,其厚度范围为50~,本底真空度为1×10-5~7×10-5Pa,溅射时氩气(99.99%)压为0.4~1.2Pa;基片温度为20~800℃。沉积完毕后,将薄膜降至室温,在薄膜的两端引出Cu电极,并与恒流源连接。将样品放入真空炉中,等到炉内真空度为2×10-5~7×10-5Pa时,在薄膜两端通入电流,电流大小为50mA~1000mA,通电时间为5秒~300秒。本发明通过薄膜自身的电阻产生热量并驱动Fe、Pt原子的有序化运动,大大减小传统退火过程中的热量损耗,提高了热量的有效利用率;结构简单,成本低廉,适用于未来的生产。

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