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公开(公告)号：CN113223638A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110379209.3
申请日：2021-04-08
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于分子建模的铝箔蚀刻用缓蚀剂的筛选方法，采用理论计算的方法，通过构建不同种类的缓蚀剂分子模型，利用量子化学程序设定隐式化溶剂模型，进行分子模型的结构优化、频率计算和单点能计算得到量子化学计算结果文件，再通过分子动力学模拟和能量计算得到平衡吸附结构和能量结果文件，进一步地，分析计算得到不同缓蚀剂分子与铝表面间的电子转移分数值和结合能，根据数值结果的比较可以评估分子的缓蚀效果，从而筛选出最佳的铝箔蚀刻用缓蚀剂，以解决铝箔蚀刻工艺中传统缓蚀剂筛选方法中研发效率低、工艺复杂、可靠性低的不足，而提供一种基于分子建模的普适性好、筛选效率高、成本低、安全可靠的铝箔蚀刻用缓蚀剂的筛选方法。
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公开(公告)号：CN113223638B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202110379209.3
申请日：2021-04-08
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于分子建模的铝箔蚀刻用缓蚀剂的筛选方法，采用理论计算的方法，通过构建不同种类的缓蚀剂分子模型，利用量子化学程序设定隐式化溶剂模型，进行分子模型的结构优化、频率计算和单点能计算得到量子化学计算结果文件，再通过分子动力学模拟和能量计算得到平衡吸附结构和能量结果文件，进一步地，分析计算得到不同缓蚀剂分子与铝表面间的电子转移分数值和结合能，根据数值结果的比较可以评估分子的缓蚀效果，从而筛选出最佳的铝箔蚀刻用缓蚀剂，以解决铝箔蚀刻工艺中传统缓蚀剂筛选方法中研发效率低、工艺复杂、可靠性低的不足，而提供一种基于分子建模的普适性好、筛选效率高、成本低、安全可靠的铝箔蚀刻用缓蚀剂的筛选方法。
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